中企公布euv光刻机专利 (中企迎来首台ASML光刻机)

中国有asmleuv光刻机吗,中企要求荷兰回购光刻机

全球能独立生产光刻机的有四家企业,分别是荷兰ASML、日本的尼康和佳能、以及我国的上海微电子。 然而在中高端光刻市场,ASML却几乎处于垄断地位,尤其是用于5nm制程以下高精尖芯片制造的EUV光刻机,ASML更是独一无二

但可惜的是,由于产线上含有美技术设备以及产能不足这两方面原因,ASML始终无法向我国这个全球最大的半导体消费市场出口EUV,即便是我国企业与ASML签订了EUV采购协议并全额支付货款,可在老美的干预下,依然无法达成交易。

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很显然,EUV光刻机被美国当作了遏制我国高新技术发展的一把“利刃”。 但令人振奋的是,国内市场已经开启了对EUV等高端光刻设备的自研脚步,在中科院、清北高校等顶尖科研机构的不懈努力下,近两三年时间里不断传出着破冰核心技术的好消息,比如光源、光学物镜、双工件台系统等等。

随着高精度光刻设备国产化进程的快速推进, 担心丢失市场话语权的ASML开始坐不住了,在这段时间里不断与美周旋 ,其首席官Peter甚至还公开向美发出警告: 如果不卖给中国EUV光刻机,那么他们将在五年之内掌握该技术 ,一旦他们做到了自给自足,未来ASML或将有破产的风险。

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可美国不仅没有听进ASML的“忠言”,反而在原有限制自由出货的基础上,又对EUV增设了新规: 全面禁止该设备流入中国市场,即便是海外企业中国分厂也不让采购。 老美驳货SK海力士中国分厂更换EUV光刻机的计划就是最好的证明。 在绝大多数业内人士来看,我们基本无望实现EUV的进口了。

可没想到转机来得这么快,近日,ASML方面明确表态, 将会加速EUV光刻机的普及,且有信心在2025年实现该设备60%的使用占比。 也就是说,到2025年,ASML生产的10台光刻机中,有6台都将是EUV光刻机。

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要知道,EUV光刻机自2015年商用至今的五年时间里,ASML总计也就交付了102台,而其最新的扩产计划是在2022年、2023年分别制造55台、60台,而且其后也会逐年稳定增长。

EUV光刻机普及的消息,对一直求而不得的中国市场而言,无疑是“柳暗花明又一村”,中企或将就此迎来转机。 具体有三方面原因。

首先,虽然美国在EUV光刻机自由出货一事上始终不愿意松口, 但ASML并没有就此妥协,反而是多次明确表态不会放弃中国市场。 而且,ASML也相应的加大在国内市场的布局,不仅修建了一座维修中心,而且还扩大了研发中心的规模,甚至是向中企降价兜售DUV光刻机。足以看出ASML的诚意。

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其次,ASML最新一代的EUV设备已经研发完成,将于2022年在荷兰总部完成安装调试,预计在2023年交付给英特尔。 按照美出口规则,它所限制的是最先进、最顶尖的设备 ,比如现在EUV不能自由出货,但ASML公司的DUV等其他产品却不受限制。

而随着新一代EUV光刻机的落地商用,那么目前的EUV光刻机在未来就将有机会实现自由出货 ,何况ASML方面已明确表态要普及该设备。对于一项不是最先进的又不是特别稀有的设备,如果老美再死盯着不放,那显然就有些说不过去了,而且也没有什么实质性的意义。

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最后,国产高端光刻机的研发仍在紧张地进行中。ASML方面之所以会传出对EUV光刻机的扩产计划,不仅是为了满足与日俱增的全球市场需求, 更是在与我国光刻市场“赛跑”,力争赶在国产高精度光刻机落地之前实现自由出货。

原因很简单,一旦我们率先实现了EUV设备的国产化,ASML不仅会失去庞大的中国光刻消费市场,而且国产光刻机还会成为其最大的竞争对手。 “将最大的客户变成最大的竞争对手”,谷歌在软件系统方面断供华为的愚蠢行为可谓是前车之鉴,ASML显然不愿意重蹈覆辙。

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也正是由于以上原因,才会说中企或将迎来转机。但倪光南院士早有忠告: 核心技术是买不来、换不来、求不来的。 不管最终EUV能否实现自由出货,我们都必须坚定自主研发的理念,只有做到了手中有粮,才能在面对断供危机时心中不慌。

没有人会比倪光南院士更明白掌握核心自研技术的重要性,所以我们必须要放弃“买办解决一切”这种不切实际的幻想,何况现在的中国在人才、资金、体系等各方面几乎都没有短板,我们完全可以凭自己的硬实力来打破EUV的*锁封**,从根本上实现国产芯片的崛起。