日前，由位于肇庆高新区的
中导光电设备股份有限公司
（以下简称“中导光电”）
研发制造的
纳米级有图形晶圆缺陷检测设备
运交客户工厂，
据了解，此次交付的NanoPro-150机型
是国内半导体前道制程有图形检测设备
国产化的一次突破。
据介绍，与传统的
“无图形晶圆缺陷检测设备”相比较，
“有图形晶圆缺陷检测设备”
技术难度大幅提升，运用范围更广，
产品的经济价值和市场空间
也是前者的数倍。
而中导光电研制的“有图形晶圆缺陷检测设备”产品具有灵敏度高、检出速度快等特点，适用于半导体芯片0.13μm-0.18μm及以上制造工艺的需求，同类产品品质媲美国际顶尖公司。
此外，中导光电研制的产品
还具有多项独特创新：
01
集“亮场”和“暗场”于一体，既保证了对光刻、刻蚀等关键制程的检测要求，也提供了经济高效的检测方案，拓展了设备的应用场景，降低了设备的使用成本。
02
采用“多通道成像（MCI）技术”，提高了设备对不同“被检测材料/物体”的检测灵敏度。
03
使用“动态影像解析度扩展（HDR）技术”，更好地解决了“金属-非金属”混合表面“明暗反差”问题。
04
该设备可根据客户需求，兼容两种不同的晶圆尺寸，拓展了设备使用范围。
05
集成大量先进的图像识别与人工智能软件技术，且能够与国际半导体制造业通用软件系统和信息交换系统相匹配。
据了解
中导光电是一家半导体工业前道制程高端缺陷检测设备研发和产业化的专业公司，成立以来的16年内，在平板显示（FPD）等工业领域销售检测设备近300台。公司曾承担国家级科研项目、省市科研项目数十项，积累了丰富的半导体高端检测设备研发与产业化经验，是半导体工业前道制程高端缺陷检测领域的关键国产替代供应商。
据悉，中导光电目前
正在销售和即将进入市场的产品，
可覆盖国内半导体前道检测设备
需求市场的90%以上，
为中国半导体工业检测设备的国产化
贡献力量。
来源：肇庆高新发布