蔡司EVO系列（扫描电镜）模块化的SEM平台适用于直观操作、例行检测和研究应用 优势如下：智能导航与成像大大提高样品的测试效率，以及更多的数据产出
蔡司导航相机
相机可以安装在仓室前方，以监测样品与背散射探测器以及物镜底端之间的相对位置(仓室相机)；或安装在真空室仓门上方 (导航相机)， 利用俯视图查看样品台上样品的摆放位置。此视图可用于设置从光学显微镜图像中识别出的预定义位置， 并在整个样品测试过程中轻松导航。
自动化智能成像EVO实现了对样品批量自动、无人值守的图像采集。蔡司自动化智能成像非常适合例行检测。它使用户能够自定义边界区域，自动生成所需的视图或放大倍数确定的感兴趣区域，并开始自动获取图像。自动化智能成像将大大提高样品的测试效率，以及更多的数据产出。
将您的研究提升一个层次使用六硼化镧电子发射器能够获得更好的图像六硼化镧阴极相较于传统的钨发夹灯丝所发射的电子能够保证您额外所需要的图像质量。这种优势体现在以下两个方面：1、在相等电子探针尺寸 (即分辨率) 下，有更多探针电流可供使用，从而使图像导航和优化更容易2、在相等的探针电流 (信噪比) 下，光斑直径要小得多，从而提高了图像分辨率
低加速电压下高放大倍率的催化剂粒子 (左: 使用钨灯丝， 右: 使用LaB6灯丝)当在具有挑战性的成像条件下， 使用LaB6灯丝的用户将有高达10倍的光束亮度， 从而提高了图像分辨率和对比度。