如果不是荷兰的光刻巨头ASML指名道姓,许多人断然不会相信我们国产光刻技术已然取得了如此长足的进步和发展。荷兰光刻巨头阿斯麦在他的年报中就点名道姓一家国产的光刻技术企业叫东方晶源。并称正在密切关注这家中国公司的三项核心技术。
说到这里,你仿佛就能听到许多朋友的声音说,“哎,醒醒吧,别吹了”。
其实这也能理解,为什么呢?因为有汉芯的前车之鉴。当一提到我们国产的芯片技术,一提到我们国产的光刻技术,有长足的发展的时候,我们心中就有些杯弓蛇影,总是不大相信。其实不光是我们,就是这家荷兰光刻巨头的高管们,同样也是不相信。
他的CEO就曾这样说,中国是不可能复制出来顶级的光刻的技术的。他说的话是基于这两点。第一是源自对自己公司的迷之自信。他说他们公司在持续不断的创新,就说他的现在已经领先,而且在持续不断的领跑。第二点他可能也是说到了关键。他这个光刻机所用的核心的零部件都不是来自于咱们这里。看看吧,他这个自信和底气。

同时他也给自己留一个口子,他又说,话也不能说得太绝对,为什么?因为这个物理定律,它在世界各地的每一个角落都是一样的。因此他说万事都有可能,当然还是有可能会来尝试的。
这话音刚落,打脸的事啪啪找来了。阿斯麦在他最新公布的年报中,点名了这家中国的光刻技术企业,在北京的东方晶源,并在密切关注其三项核心技术。
三项核心技术
现在我就来给大家详细说一下这三项核心技术。或许有朋友会说,光刻这么深奥的技术,你这up在试图让我理解,在试图教会我吗?
其实咱们可以望文生义地来理解一下。从一个普通人做事的角度阐述。咱们设做事情分为三个步骤。第一步是事前计划,第二步是事中控制,第三步是事后检查。就是做事情要事先做好计划,在执行过程中要控制,最后一步做检查。
接下来,我们就按照这三个步骤来理解一下东方晶源这三项光刻的核心技术。
首先第一项是对应的“事前计划”,它的产品是计算光刻软件。此处的关键词是计算,就是在光刻之前做许多的计算工作。来优化这个光刻的掩模Mask,确保投射到这个硅片上的这个图像能够不失帧并来不断的优化。这是事先计划的部分,是连接芯片设计和制造的关键技术,是设计与实施之间的一座桥梁。

第二项就是“事中控制”,对应的是“关键尺寸测量技术”。我们在做事情的过程中,要有控制手段,做一些测量工作,以保证没有误差,或者是尽可能地减少误差。就要用这个关键尺寸的测量技术。
最后是事后的检查工作。我们做完任务总是要回头检查检查。对应的是“纳米电子束的缺陷检测”。前面的步骤有什么问题,就给它检测出来。
规模化的优势
这三项核心技术填补了国内的空白。而且不仅如此,这三项核心技术不只是图纸上,可不是纸上谈兵,而是开始产业化,推向了规模化。
这也正是阿斯麦这家荷兰小镇的企业如此忧心忡忡,如此如坐针毡的缘由。
就简单想一下。当咱们有这么大的产能,开始规模化的量产光刻机的时候。你想想成本会被压缩到一个怎样的地步?
比如曾经的地铁施工的盾构机,以及现在的优盘和京东方的屏幕等等。将来这芯片会不会是一个白菜价?而这家在荷兰小镇上,号称是光电光刻巨头阿斯麦,又将置于何地?设身处地想一下,也就能体会ASML为什么现在正是在密切关注的缘由。
当然对阿斯麦在年报中提及的许多事情,东方晶源已经给出正式的声明。咱们可以看一下,就将这块儿放到一边儿。

不妨往后退一步来看这件事情。就是现在咱们每个人都在关注光刻机,都在关注芯片这一块儿。而且华为这两年来的遭遇,人人都看在眼里。其实,现在光刻机和芯片不管阿斯麦怎么说吧,早已经脱离了单纯的商业领域。只待着通过各种方法来,跨过这个瓶颈来实现规模化的量产,以解决我们当前遇到的各种各样的问题。
说文解字
我们再回到东方晶源这家企业,成立于2014年,至今还不到8年。他的名字特别有意思,叫东方晶源,晶体的晶,源头的源。这就跟芯片光刻的原材料“晶圆”是谐音。这个原材料的“晶圆”,晶是晶体的晶,圆是圆圈的圆。其实英文叫wafer, silicon wafer 硅片威化饼。你就看“晶圆”一栏一栏的栅格就与威化饼是一样的。因此它的英文名叫silicon-wafer威化饼,硅片威化饼。

但是我们汉语的翻译取了一个意译。首先是个圆圈,然后硅片里晶光闪烁,因而起名为“晶圆”。当现在“晶圆”俨然已成半导体产业的代名词,再看东方晶源,将“圆”改成了源头的“源”。这是定位要做这个行业的源头和龙头。单单从名字也看起来,这家公司的创始人属实雄心勃勃。