工件台和投影物镜、光源并称为光刻机的三大核心子系统。光刻机工件台则被视为芯片高端装备领域“皇冠上的明珠”。其主要功能是承载晶圆按照指定的运动轨迹做高速超精密运动并完成一系列曝光所需动作，包括上下片、对准、晶圆面型测量和曝光。工作台在高速运动下需达到2nm（相当于头发丝直径的三万分之一）的运动精度，它的定位精度直接影响了 光刻出来的硅片的质量。
而双工件台，是指在一台光刻机内有两个承载晶圆的工件台。两个工件台相互独立，同时运行。一个工件台上的晶圆做曝光时，另一个工件台对晶圆做测量等曝光前的准备工作。当曝光完成之后，两个工件台交换位置和职能，如此循环往复实现光刻机的高产能。常规的单工件台的生产率为每小时80片，双工件台则可以做到每小时270片甚至300片。
目前，全球仅ASML掌握双工作台技术，正是因为这一项双工作台的技术，让荷兰的ASML公司成为了，世界上顶尖的芯片制造公司。
2001年，华卓精科公司创始人朱煜参与“十五”“863”IC装备重大专项的规划工作。朱煜是清华大学制造工程研究所的老师，带领百余人重大科技研究攻关团队，面向IC制造装备的重大技术需求，围绕纳米级运动精度的生成，在超精密机械系统设计、超精密测量、超精密运动控制等方面，开展系统、深入的基础理论与关键技术研究。主持国家科技重大专项项目及国家基础科学研究计划课题，研制出超精密工件台系统、大行程气浮/磁浮平面电机、六自由度纳米精度微动台等半导体制造装备核心部件，掌握了IC制造装备包括超精密机械设计与制造、超精密激光干涉测量与标定、纳米精度高动态运动控制、高性能主动/被动隔振等具有自主知识产权的系列关键技术。
朱煜教授曾先后获得 2015年国家专利优秀奖、2018年国家专利银奖、2018年北京市科学技术奖一等奖等多项荣誉；截至目前，发明了境内授权专利共计188余项，其中发明专利161项；发明了美国授权专利25项；发表论文200余篇；出版专著2本。
也正是2001年，光刻机巨头阿斯麦（下称ASML）推出了首台双工件台光刻机，引起了朱煜的关注，朱煜敏锐地感觉到，光刻机工作台具有重要的意义。他开始进行光刻机工作台的研发，很快朱煜团队研制出了10纳米同步精度的超精密运动平台。
“我第一次看到的双工件台是ASML的一段展示视频”，初睹双工件台，即使只是视频，朱煜也被深深震撼了。“我下意识地对自己说，这就是我想要做的，中国必须掌握这样的尖端技术！”
但是从2004到2008年，朱煜团队没有再得到新的科研经费，研究几度陷入停顿。这也是为什么朱煜要成立华卓精科的原因。在成立华卓精科之后，朱煜成功攻克了光刻机双工作台技术。
华卓精科是世界上继荷兰ASML之后，第二家掌握高端光刻机双工件台核心技术的企业，是全球光刻机双工件台唯一供应商，打破了国外公司在该领域的垄断和技术*锁封**，填补了国内该领域空白。
华卓精科与国内的光刻机龙头厂商上海微电子保持良好的合作关系，并成为其光刻机双工件台的供应商，共同进行光刻机及其部件国产化的技术攻关；
华卓精科将于2021年生产可用于*四代第**浸没式光刻机的DWSi系列双工件台，助力上海微电子攻克*四代第**浸没式光刻机，中国一旦掌握了*四代第**浸没式光刻机，就可以生产7nm的光刻机了。朱煜曾表示，该类双工件台的售价约为6000万元。
希望中国可以多几个朱煜，那国产光刻机追赶上ASML，将不是梦！
