为帮助投资者深入了解科创板的优秀标的，及时把握科创100投资机遇，鹏华基金推出《百家访谈·走进科创小巨人》直播栏目。作为鹏华基本面投资之美·科创100主题活动的重要组成部分，《百家访谈·走进科创小巨人》栏目深入走进科创100成分股公司，与上市公司专家一同窥探科技创新的最前沿技术，共话科创板潜力黑马的成长之道，解码科技创新带来的历史性投资机遇。
本期，我们走进科创100指数成分股之江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称“微导纳米”），对话微导纳米董事会秘书龙文，深入了解国内光伏ALD设备领军企业。微导纳米成立于2015年12月，是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。公司专注于先进薄膜沉积和刻蚀装备的开发、设计、生产和服务。微导的业务涵盖新能源、柔性电子、半导体和纳米技术等工业领域。公司荣获工信部 2021 年第三批专精特新“小巨人”企业。
百家访谈·走进科创“小巨人” | 第三期：对话微导纳米
Q：请您简要介绍下微导纳米具体的业务方向以及技术应用。
龙文：我们的公司主要致力于成为全球先进的微纳装备制造商。我们的主要产品是基于ALD技术的装备，这种技术可以在原子层面进行镀膜。
ALD（A是原子，L是层，D是镀膜）技术，全称原子层沉积技术，是一种化学气相沉积方法。它通过交替输入不同的气体，使得这些气体在基底上形成原子层。这种技术有几个显著的优点。首先，由于沉积是在原子层级进行的，所以制备出来的薄膜具有非常好的密度和均匀性。其次，这种技术具有非常好的保形性，可以在复杂的形貌结构上进行沉积。最后，它可以用于超薄薄膜或者精准掺杂薄膜，或者是复杂的形貌结构、超高深宽比这种形貌上进行排列。
随着半导体领域日益微型化和3D化，结构越来越复杂，ALD技术的应用将越来越广泛。我们希望通过ALD技术，推动半导体领域的创新发展。
Q：ALD这项技术和投资者的日常生活可能有些距离，能否请您再深入介绍下这项技术，方便大家能更具象化的理解？
龙文：ALD技术起源于芬兰，是半导体制造过程中非常关键的前端核心工艺之一。它主要应用于半导体镀膜工序，通过在晶圆表面依次镀设各种功能薄膜，如绝缘膜、导电膜等，以实现器件的光电功能。随着半导体器件结构日益复杂，需要堆叠的薄膜层数越来越多，光刻、刻蚀等工艺配合ALD镀膜技术，才能制造出数亿级复杂的半导体芯片。可以说，ALD是半导体制造最核心的基础工艺之一，它将各种功能薄膜精密镀设在晶圆片上，为后续工艺奠定基石，对实现半导体芯片的复杂功能至关重要。
微导纳米的核心专家黎微明博士是芬兰籍华人，也正是这项技术的早期专家，在这个行业中深耕了三十多年。
问：微导纳米在创立和发展过程中的创业的故事是怎样的？
龙文：微导纳米成立于2015年底，由王燕清先生以及几位从海外归来的华人科学家黎微明、李翔等创立。创立的初心是致力于把ALD、CVD等半导体技术产业化应用，填补国内空白领域。
作为民营企业，创立之初公司必须先培养现金流业务来保证存活。因此公司创始人首先在2016年将ALD技术应用于光伏产品，2017年推出产品，属于全球最早将ALD用于光伏的企业之一。随着光伏行业快速发展，光伏订单达到了5-6亿量级。
2018-2019年，随着国产化形势变化，半导体行业迎来重要机遇期。微导纳米利用光伏积累的资金和创投资金投入半导体研发，2019-2022年成功推出多款ALD关键设备，达到国际水平，填补国内空白。
2023年，公司又推出CVD领域的产品，仍属国内外先进技术水平，未来会持续把技术应用到更多新领域。
问：作为创新“小巨人”的企业代表，微导纳米有哪些发展优势？业绩情况如何？
龙文：微导纳米将ALD技术作为核心竞争力，并构建了以ALD技术平台为基础，通过产业化应用服务不同行业，形成以技术为核、多产业为翼的发展模式的商业模式。这种模式的优势在于：（1）目标行业市场规模大，如光伏、半导体等每个行业市场规模达百亿级，可为公司带来稳定的收入增长。这样可以帮助公司逐步突破单一行业的发展瓶颈，解决后期发展可能面临的天花板问题。（2）不同产业部门组合，可以降低单一周期性行业的波动风险。如果公司仅聚焦一个周期性行业，该行业在周期下行时，公司整体订单和收入也会下滑。而多产业部组合可减弱单行业风险。（3）核心仍然围绕ALD技术，保持核心竞争力，不同产业部之间具有技术协同效应。
公司已成功将ALD技术应用于光伏和半导体等产业，并实现了快速增长。公司还将ALD技术应用于柔性屏等新兴行业，目前在手订单已达1亿。未来还将继续拓展至其他新领域。
总结来看，公司的整体战略布局紧紧围绕国家产业发展方向，抓住碳中和、国产化替代等重大发展机遇，最终实现了订单和收入的快速增长。
问：微导纳米的技术在国内外处于怎样的水平？与行业巨头相比，目前存在哪些差距与挑战？
龙文：在镀膜领域一般有三大类技术，一个是PVD 物理（physical）沉积，一个是CVD 化学（Chemical）气相沉积，还有一个是ALD，严格来讲ALD属于CVD，只是它的反应机理实在太特殊了，所以，从CVD里单拎出来。在国产半导体设备中，CVD设备国产化率仅15%左右，ALD设备国产化率更低，基本上不到2%，在一两年前甚至接近为零。作为国内为数不多的以ALD技术为核心的企业，微导纳米是目前国内乃至全球ALD产品种类最全、技术最先进的企业之一。在国内，微导纳米可以说是ALD设备的领先企业，是目前国内ALD技术最强的企业之一。
微导纳米在2020年推出的首款ALD逻辑器件设备，以及后续推出的存储器设备，关键参数和功能已达到国际同类产品的领先水平，填补了国内的空白。国产半导体设备有非常多的科学家企业家创业，大家的水平都是非常领先和资深的。
与行业巨头相比，国内企业面临的主要挑战在于人才和产品验证。人才方面，需要聚集不同专业领域的人才;验证方面，需要下游芯片厂进行产品验证和改进。近两年验证机会增加，推动了国内设备企的快速进步。给予一定时间，国内设备企业有望通过人才聚集和产品验证，快速追赶国际水平。微导纳米在关键设备实现领先，有望在人才和验证方面不断推进，以保持国内领先地位。
问：微导纳米在人才布局和技术储备上有着怎样的投入？
龙文：人才团队的聚集是公司核心竞争力，也是持续技术创新的重要基础。微导纳米高度重视技术人才，提供优厚的薪酬待遇、晋升机会以及充分的技术创新空间。目前，公司聚集了全球数量最多、最专注的ALD技术团队，可以从事前沿技术创新，给予工程师很强的成就感。公司对人才晋升和股权激励计划也很大方，新一轮股权计划预留20%份额。欢迎全球ALD、CVD领域人才加入，在事业发展和回报上都将更加充分满意。
问：光伏和半导体是二级市场中关注度较高的两个板块，很多时候被认为是偏周期板块，作为行业从业者，您认为光伏和半导体下一轮上行周期什么时候开始？
龙文：光伏和半导体行业的整个周期景气度还是比较高的。在光伏行业，碳达峰、碳中和时代背景下，有研究员做一个倒推的测算每年需要新增多少GW的设备，以达到国家的战略目标。作为设备提供商，我们提供的设备既给当下比较火的光伏TOPCon，也为下一代异质结、BC电池、再下一代的钙太矿叠层电池都做了相应的技术储备。
因此，我们在光伏里的策略就是抓住当下机遇，同时又储备未来的技术，来去应对整个在光伏未来技术转换的发展。在半导体领域，虽然整个国际形势、半导体设备形势相对而言比较严峻，但是对于微导这一类从事0-1的半导体设备企业来说，现阶段是非常重要的战略窗口期和上行期限，所以景气度还是非常高的。微导在上市过程中加大在半导体的投入，原因就是在战略级窗口期过程中，作为国产半导体设备企业要快速把这些产品研发出来，推向FAB厂商，它会在这些FAB厂商中卡位，经过它们验证之后能够在后续扩产中获得爆发式的订单增量。
问：您是怎么看待科创100指数的推出以及微导纳米作为成分股纳入其中的？
龙文：很高兴微导纳米最近被纳入到科创100指数的成分股。这给了我们一个非常大的曝光机会，让越来越多的人认识了解微导纳米及我们正在做的事情。此外，被纳入到这个指数里可能也会让更多的被动的指数基金，当然还有一些主动基金，以及股民朋友们给微导纳米更多的长期的投资陪伴。这种长期和价值型的投资符合微导纳米商业模式发展的方向，公司也需要一个长期的、不断递进式的发展。因此，相信会有越来越多的公司因为被纳入到科创100指数中而受益，股民朋友也会在投资这一类指数基金中获益。
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