半导体设备的定义：

半导体设备是指用于生产各类半导体产品所需的生产设备，也包括生产半导体原材料的其他类机器设备，属于半导体行业产业链的支撑环节。

芯片设计，晶圆制造和封装测试等只能在设备技术允许范围内设计和制造，设备进步反过来推动整个产业链的发展。

半导体生产需要无尘车间，因为半导体芯片的制造对环境和设备的干净程度要求非常高，任何微小的灰尘、污染物或杂质都可能导致芯片的失效，从而影响生产效率和产品质量。因此，半导体生产需要在无尘车间中进行，以减少空气中的微粒和杂质对芯片制造的影响。

根据上图可知，半导体各工况对车间洁净度有较高要求。特别是光刻工况，不仅对洁净室有要求，还对温度差有要求。因此，为满足更多工况对于空间洁净度的要求，我司从营造无尘车间出发，对半导体行业洁净车间场景下的框体零件进行研究，并得出以下结论：框体零件对空间、产品不产生影响和破坏。

1、对空间不产生影响和破坏：我司主要开发的产品以不锈钢、塑料产品为主，零件产尘量低于车间空气洁净度要求

不锈钢脚杯

型号：WAD36-D60-M20-L100

产品优点：带防滑槽设计，防滑、耐腐、耐高温，常用于高承载设备。

暗式拉手

型号：XAC86-A130

产品优点：采用凹槽设计，拉手可折叠，易拉伸的同时能有效节省空间。

脚轮

型号：J-CRC01-D60-NL

产品优点：丝杆活动型支架，高度易于调节；

尼龙脚轮，耐磨的同时更保护地面。

2、对产品不产生影响和破坏：我司会根据不同工况选择特定的材质开发产品，保证框体零件在不增加润滑油的情况下降低产尘量。

重载型无尘铰链

型号：HFM86-75

产品优点：采用不锈钢材质，承载量更大，镜面抛光处理更洁净。耐磨塑料衬套设计可减少金属粉尘产生。

拆卸式铰链

型号：HFT81-51

产品优点：结合行业工况要求，在开发产品时增加了衬套进行防尘。

压缩杠杆式平面锁

型号：XAZ33-A110-L44

产品优点：可根据不同门框厚度的钣金门调整开发止口高度。采用点式按压，加带防水防尘的密封垫，方便开门的同时保护锁面。

工业滑轨

型号：IDA21

产品优点：采用不锈钢材质，产品耐腐蚀，适用于所有行业场合的工业滑轨。

把手

型号：HAX06-M6-L16

产品优点：采用不锈钢材质，产品耐腐蚀，适用于所有行业场合的把手。

3、鉴于半导体前道工序的特殊性，设备在工作时常需要各种各样的高腐蚀化学药液等，为防止该类化学药液对空间产生影响，我司特开发了有密封性、耐腐蚀性的产品。

密封扣

型号：FHS04-40

产品优点：采用POM材质，产品耐腐蚀。

密封条

型号：HGY87

产品优点：该产品防尘、耐高温、耐腐蚀。

总结：

综上可知，不同等级的洁净车间对于结净度的要求会有所差别，为防止框体零件对空间、产品造成影响和破坏，我司在综合考虑后决定以不锈钢、塑料产品为主，尽可能降低产品产尘量。

再者，考虑到腐蚀性辅料和高温环境易对空间产生影响，我司特开发了有密封性、耐腐蚀性的产品，以助力无尘车间的进一步发展。