asml中国研发光刻机 (asml光刻机抵达中国几纳米)

楔子

1891年,杰拉德·飞利浦和他的兄弟安东尼奥在荷兰的埃因霍温创办了飞利浦公司。那时电气时代正在到来,杰拉德敏锐地意识到电力与照明技术可以让夜晚不再黑暗,所以他创业的目标是生产经久耐用的白炽灯。

飞利浦公司在电气时代获得了巨大的成功,以至于成为荷兰的一张国家名片。杰拉德本人就是精通技术的企业家,他对于创新型技术有着无与伦比的重视,为此专门成立了飞利浦物理实验室,这就是后来成为传奇的Natlab。

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能够进入Natlab的科学家都是当时世界上最顶级的学者和研究人员,可想而知,这里就一座科学的殿堂。而且在那里工作的科学家拥有极大的权限,可以从事自己真正感兴趣的研究工作。哪怕研究的东西看起来并不是很实用,那也没关系,这里就不怕你的想法有多疯狂,只怕你的想法太一般。

如此巨大的投入,就能够让飞利浦拥有最尖端的技术,当技术转化为产品时,往往在市场上一经推出就是领先者。产品获得了可观的收益,飞利浦自然也愿意继续保持对Natlab的投入。

Natlab研究出了许多改变世界的发明,我们今天要说的是对当今信息世界最重要的一项基础发明:光刻机技术。

这是一个非常曲折的故事,它见证了一群心怀梦想的人,是如何筚路蓝缕,最终建立起了光刻机的王朝。让我们先从飞利浦的两个部门说起。

Natlab与S&I

当1974年第一台PC机Altair被发明出来后,PC机市场日渐壮大,这催生了对芯片的大量需求。而著名的“摩尔定律”则更是让人们热情高涨,每过十八个月,单位面积的芯片上的晶体管数量就要翻一番,这是要靠光刻机来实现的。

光刻机就是用来生产芯片的设备,它对科技水平有着极高的要求。这显然就是Natlab的科学家们所愿意面对的挑战,所以在20世纪60年代,Natlab就开始了对光刻机的研究,并且有了不俗的成果。

可惜的是这成果最终并没有在飞利浦内部转化为成功的产品,而是成就了另一家伟大的公司。这和飞利浦公司的体制有着很大的关系。

在Natlab,所有员工可以来去自由,什么时候去上班都行。而且那帮特立独行的科学家们还拥有高额的预算,可以买最贵的设备来搞最酷炫的研究,这简直就是科学家的天堂。

而负责生产的则是飞利浦科学与工业部(S&I),Natlab的研究成果要在S&I落地生产。而在S&I,所有员工都严格遵守考勤规定,他们不会迟到一分钟,到下班点也不会多待一分钟。S&I的工程师们工作时完全按照设定好的工序进行,如无必要,绝不会去更改现有流程。

光刻机是一个极其复杂的设备,Natlab的天才们将技术实现方法研究出来以后,给出一个原型机加上几张纸的设计说明,就扔给S&I去生产了。

这对于S&I的人来说简直就是一场灾难,他们需要的是精确详细的说明书,照着干就行的。这种天才的设计让他们要理解透都不容易,更不用说生产出来了。

在这种情况下,飞利浦空有业界领先的技术,但就是无法转化为成功的产品。不过,另一家颇有眼光的公司看到了这项技术所拥有的巨大潜能。

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Natlab早期研发的重复曝光光刻机,图片来自《光刻巨人》

德尔·普拉多与ASM

在20世纪七十年代末至八十年代初,飞利浦都在因为经济衰退而减员增效。但有一家荷兰公司却逆势崛起,这就是ASM(先进半导体材料公司)。这完全要归功于ASM那传奇的创始人:阿瑟·德尔·普拉多。

德尔·普拉多早年留学美国,他在美国西海岸见证了一个新产业的兴起,就是芯片大量用于电子设备之中。对了,这里就是在日后被称为硅谷的地方。

可想而知,德尔·普拉多完全不同于欧洲那些传统家族企业的经营者们,他富有冒险精神,极具野心,这其实就是后来我们所熟悉的“硅谷精神”。

德尔·普拉多回到了他的祖国荷兰,身上带着一片晶圆和500美元,开始了他的芯片设备制造事业。得益于他的创新与开拓,ASM从最初就是走国际化的路线。

在哀鸿遍野的欧洲市场,ASM就像是一个另类的奇迹,连年创下销售纪录,好像根本就没有经济衰退这回事。同时,德尔·普拉多也十分重视资本在企业发展中的作用,这使得ASM成为了在美国纳斯达克上市的首家非本土高科技工业企业。

所以,没有人比德尔·普拉多更了解芯片对于未来世界的意义,而能够制造芯片的光刻机,它的战略地位更是毋庸置疑的。

野心勃勃的德尔·普拉多盯上了超级巨头飞利浦,因为后者正在想方设法地要甩下光刻机业务这个包袱。德尔·普拉多想接盘光刻机制造。不过从体量上说,ASM虽然发展快,但相比于飞利浦仍然不值一提。

那么,德尔·普拉多能从高傲自负又官僚盛行的飞利浦,得到他想要的东西吗?

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阿瑟·德尔·普拉多,图片来自《光刻巨人》

合资公司

德尔·普拉多听说飞利浦想要出售光刻机业务,立马采取了最直接的方式,找上门去将自己的想法全盘托出。出乎他意料的是,飞利浦公司的高层官僚们对他不屑一顾,根本就没有想谈的意思。

当时光刻机业务是由S&I的事业部董事之一的维姆·特罗斯特在负责。当初就是他看好光刻机技术,从Natlab把这个业务接到自己手中,他有心想为光刻机寻找一个好下家,但却也左右不了飞利浦高层的意志。

在此之前,特罗斯特已经为光刻机投入了大量的成本,这引起了飞利浦高层的不满。要不是因为他能在别的业务上都赚到钱,估计早被排挤到一边去了。但他的日子也是一天比一天不好过了。

这时候远在美国的Perkin Elmer对欧洲的高科技公司表现出了兴趣。特罗斯特自然也抓住机会,在S&I的实验室和工厂里向Perkin Elmer的来访者展示Natlab的科研成果。

行家一看就知有没有,飞利浦当时的光刻机产品代号为PAS 2000,Perkin Elmer对PAS 2000的光学对准技术赞不绝口。但要求飞利浦必须在两周内给出答复,而这根本不是行动迟缓的飞利浦能做到的。

很遗憾,Perkin Elmer的合作告吹,而拆分光刻机业务已经到了火烧眉毛的地步。飞利浦的选择是要么砍掉光刻机,裁员解散研发生产团队,一切归零;要么找到一家愿意合作的公司,将包袱甩出去。

S&I的高级副总乔治·德·克鲁伊夫在仔细了解ASM这家公司之后,觉得还是可以进行合作的。他去征询特罗斯特的意见,而后者还是偏向保守地认为ASM并不合适。不过特罗斯特也深知,再找不到合作公司,光刻机业务能否存在都是个问题了,也就同意德·克鲁伊夫去和ASM接触。

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乔治·德·克鲁伊夫,图片来自《光刻巨人》

当德·克鲁伊夫走进德尔·普拉多的办公室时,后者明白自己等待许久的机会终于到来了。整个会议只进行了一个多小时,德尔·普拉多就拍板同意与飞利浦成立合资公司从事光刻机业务。

飞利浦可以喘上一口气了,而ASM则将开始自己的真正冒险。

成立ASML

ASM光刻机公司诞生了,这就是当今如日中天的ASML。不过在当时,这家新生公司的命运并不被看好,在业内人看来这就是飞利浦投了大把的钱搞研究,最后落得零元甩卖。至于接盘的德尔·普拉多,则就是个不懂光刻机市场,只有冒险精神的疯子。

德尔·普拉多爱冒险是事实,但他并不傻,他敏锐地意识到,光刻机最具价值的技术部分是在Natlab实验室手中。如果他只是接收一堆半成品的机器,那才是地道的疯子,他要的是最先进的技术。

于是德尔·普拉多向飞利浦提出,对方必须要保证合资公司可以随时从Natlab获得技术支持。这个条款其实才是真的让飞利浦肉疼,Natlab那可是他们的心肝尖儿,花了多大的代价才打造出来的业界传奇。你说随时想用就能用的?

为此,颇有见地的德·克鲁伊夫虽然知道这事不好办,但也尽力从中周旋。最终飞利浦高层同意有限地开放Natlab的资源给合资公司,但必须占有股份。

换句话说,飞利浦一分钱不出,就是仗着手上的几个宝贝的科学家,要干股。要多少呢?一半,少一股都不行。不过公司的日常经营飞利浦可以不参与。这买卖打得多精,你赚了钱我要分一半,你赔钱了我一毛钱损失也没有。

但德尔·普拉多还是点头同意了,于是合资公司的股份就以五十对五十的比例确定下来了。由此可见,拥有核心技术是多么地重要,联想到美国对中国科技企业的芯片禁令,这就不难理解了。

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现在草台班子搭起来了,接下来就得找到一位领军人物了。德尔·普多德会将ASML交到谁的手中呢?

首任CEO

贾特·斯密特,如果能坚持到最后,也许他就是光刻机界的史蒂夫·乔布斯了。

德尔·普拉多要为新成立的ASML寻找一位合适的CEO,欧洲的大小猎头们闻风而动。当猎头们把人选的材料放到德尔·普拉多的办公桌上时,他发现居然都指向了同一个人,就是贾特·斯密特。

斯密特的经历也颇为传奇。早年他的求学生涯完全就是走科学研究的路线,硕士研究的是磁流体动力学。后来受到NASA的资助,去美国研究天文等离子体,获得物理学博士学位。

不出意外,这就是一位受人尊敬的科学家了。但斯密特却不喜欢搞科研,他似乎更喜欢与人打交道。从美国回到荷兰之后,他去飞利浦公司应聘,主动要求去做销售工作。

这看起来跟他的所学是八杆子也打不着,但斯密特为人热情,能说会道,思维缜密,总是能给客户贴心的照顾,从而获得信任。这位天体物理学博士,真的绝非那种只是陷在各种数学公式中的书呆子。

斯密特脑子好使,学习东西快,飞利浦的技术不怕多复杂的,他一整就明白。这更加有利于他从客户的真实需求出发,结合技术特点,提出最适合的解决方案。

可以说,斯密特完全不像一个飞利浦式的技术人,可能是受到美国留学的影响,他看待技术更具有前瞻性,也拥有对未知领域的探索精神。

这样的人怎么看都跟德尔·普拉多是一路的,事实也证明确实如此。当斯密特走进德尔·普拉多的办公室时,两人的确一见如故,大有相见恨晚之意。不用说,ASML的首任CEO就此确定了。

热情洋溢的德尔·普拉多告诉斯密特,ASML拥有飞利浦Natlab的先进技术,并且还能得到他们的支持。光刻机也研发得差不多了,也就还有一些小问题,世界各大厂商都排着队等着买呢。

斯密特本就是从飞利浦出来的,当然知道Natlab是个什么所在,那里头都是一帮怎样的神仙。听德尔·普拉多这一通煽呼,感觉自己像是捡了个天大的便宜啊。

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贾特·斯密特,图片来自《光刻巨人》

1984年的愚人节

1984年4月1日这一天,斯密特高高兴兴地走马上任了。我们不要忘记4月1日在西方作为一个节日所特有的含义,斯密特过不了多久也知道了……

经过与核心员工的反复交谈之后,斯密特终于搞清楚了现状。他的第一反应应该是很想冲进德尔·普拉多的办公室去把桌子掀了;第二反应是想起自己选择在愚人节这天入职,真是太应景了。

斯密特的结论是,他被耍了。先说光刻机产品,它不止是“还有一些小问题”,根本就连一个半成品也称不上,要让它可以实现基本功能都还有许多工作要做。

再说人员,ASML的初始技术团队,大部分人员都来自飞利浦。但他们并不是为了更好的发展而来,而是作为“不良资产”被剥离到这儿来的,这命运对他们来说跟变相裁员差不了多少。

可想而知,这样一个形如散沙的团队哪有士气可言。甚至有一位核心员工对斯密特直言不讳道:“你为什么要到这儿来?是脑子进水了吗?”

这就是斯密特当时所面临的情况,虽然很魔幻,但也很现实。如果他就此离去,那么或许就没有ASML后来的传奇故事了。

罗曼·罗兰曾经说过“世界上只有一种英雄主义,那就是在认识生活的真相之后依然热爱生活”。贾特·斯密特很好地诠释了这一点,他在认清现实之后,毅然做出了一个惊天地泣鬼神的决定。

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一亿美元

贾特·斯密特虽然搞清楚了ASML的真实状况,但他并没有灰心丧气,反而看到了一个绝佳的机会。他认为ASML的光刻机是大有可为的,最主要的原因有两点。

一是工作生活从机械化向信息化转变的大趋势。无论是工业生产还是居家生活,各种各样的设备里都需要大量的芯片,而作为直接生产芯片的光刻机,这简直就是点沙成金的印钞机。

二是ASML的光刻机拥有一项绝活,就是超前于其他友商的精密对准技术。这得感谢Natlab的天才科学家们,是他们打下了这么好的技术基础。这项技术可以保证ASML在超大规模集成电路 VLSI时代取得领先地位。

斯密特的眼光是极具前瞻性的,他从一开始就将发展战略定位到下一代VLSI光刻技术,而不是和当前的市场领先者GCA进行同质化的竞争。

这个理想有多美好,现实就有多骨感。要把事办成,就得要有资源,归根到底还是需要钱。因为ASML要找Natlab的科学家唠嗑,那都是按小时付费的。

斯密特拉着团队里的技术专家们一通计算,看把事办成究竟要花多少钱。当这个数字算出来时,就算是有心理准备,还是让斯密特倒抽了一口凉气。

他需要筹集一亿美元!

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团队里其他人看到这个数字,都开始准备简历找下家了。因为他们很清楚ASM的实力是做不到的,而飞利浦更不会为一个剥离出去的业务投入更多。

可贾特·斯密特不是一般人,他决定说服ASM和飞利浦支持他的想法。为此斯密特做了精心的准备,对市场趋势的判断、自身技术的优势、对其他友商的分析比较等。

这一天终于到来,斯密特决定豁出去了。在ASM的老板德尔·普拉多和飞利浦的一众高管们面前 ,斯密特神采飞扬地谈论着自己的理想。依稀你会看到这又是一个自带现实扭曲力场的人在说:让我们一起改变世界吧!

斯密特刻意以一种随意的口气把所需要的资金说了出来,好像是在说,跟这项事业所能带来的收益相比,这其实算不上什么。说完之后他紧张地等待着各位老板们的反馈。

德尔·普拉多显然喜欢这样的表达,不过他也确实无法独自承担这个费用。而飞利浦的高管们也被斯密特的激情所打动,最后的结果是ASM和飞利浦各出资150万美元,总共投入300万美元。

这离一亿美元显然还差得太远,不过斯密特却乐观地对核心团队成员们表示:看,至少老板们并没有反对,并且我们现在离一亿美元已经走近了一步。

艰难岁月

贾特·斯密特是极富个人魅力的,他总能让ASML的普通员工对未来充满积极的希望。同时他让这些工程师们感觉到与飞利浦的文化所不同的,就是更加开放、自由与平等的氛围。

这当然和斯密特本人的信念有关,他自己就对飞利浦那套等级森严的管理体系没有好感。他认为每个人都应该知晓公司的愿景,以及自己所做的工作是多么的重要。

他告诉大家,光刻机界现在有十家公司,但过不了几年就会阵亡一半。所以要么就做出最先进的光刻机,要么就退出别玩了。市场份额的目标必须在前三之内,如果目标是前六,那等于就是自杀。斯密特相信大家只要团结一心,一定可以成为业界的第一名。

这让那些本来心灰意冷的前飞利浦员工又鼓起了干劲,让这支飞利浦弃之如敝屣的杂牌军在后来成为光刻机界战无不胜的王牌军。

不过,在高管团队中,气氛就没有那么乐观了。斯密特为公司定的战略方向是难度最大的,即直接瞄准下一代VLSI芯片的制造。那么问题就来了,要支撑研发与生产的庞大经费根本不知从何而来。

贾特·斯密特并不关心钱的问题,其实他从来就没有对公司的细节有过太多关注。每个月发工资和采购原材料 的经费,他完全交给了首席财务官杰拉德·韦尔登肖特,要求只有一个,就是要用钱的时候就得拿出来。

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杰拉德·韦尔登肖特,图片来自《光刻巨人》

他的注意力都放在寻找市场并打开销路上。至于研发管理,就是定一个不允许讲价的deadline,你们怎么干我不管,我就要结果。

韦尔登肖特倒是很好地完成了自己的使命,但也是到了殚精竭虑的程度。可以说把自己能用的关系全用上了,能出卖的尊严都出卖了,才维持了个勉强度日。

至于研发工作的要求,那则是有些违反了自然规律。斯密特高估了S&I交付的光刻机的完成度,他以为只是局部改善的事,但其实就算是替换一个部件,对于系统整体来说都是有影响的。

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研制中的PAS 2000,图片来自《光刻巨人》

进退两难

这要从ASML光刻机的晶圆台移动设备说起。Natlab早期在研发光刻机的时候,使用的是油压驱动设备,这在当时来说是主流做法。但是因为油压系统体积大、噪音高,还容易造成污染,于是在后来业界广泛使用电动晶圆台了。

但是在ASM与飞利浦洽谈接收光刻机业务的时候,这一重大缺陷谁也没有提及。从后面看,也很好理解,ASM本就对光刻机一无所知,飞利浦为了尽快成交,自然也就多一事不如少一事。你不问,我也不说。所以,交付给ASML的代号为PAS 2000的光刻机全是油压驱动的。

这对贾特·斯密特来说简直就是一场灾难,他从每个客户那里得到的反馈都是,油压驱动的光刻机根本就不考虑,白送也不要。这意味着他手里那堆已经生产出来的光刻机还没卖出去,就已经过时了。

于是他要求在最短的时间内生产出下一代产品PAS 2500,结果可想而知,这不可能按时交付。但研发团队迫于压力,每次被问到进度,都只好说进展正常。

到了摊牌的这一天,斯密特才发现研发工作根本不能完成,于是一通大发雷霆,解雇了几位主要技术负责人。说实话,这些被解雇的工程师们也挺冤的,因为他们最初给出的合理工期并没有被CEO给采纳,而是被强制了截止日期。

这虽说是斯密特一意孤行的结果,但他也同样没有更多选择。市场上GCA等友商们占据了半壁江山,日本的尼康和佳能也在虎视眈眈,留给ASML的时间也真的不多。

后来工程师们提出了一个折衷的方案,就是在PAS 2000的基础上进行改进,将油压设备替换为电动设备,产品代号为PAS 2400。这款产品虽然竞争力一般,但好歹还可以卖给一些小的芯片制造商,起码在营销数字上有一些交代。

有一家美国公司赛普拉斯,他们生产的芯片要求不高,但又不想买太昂贵的光刻机,于是尝试着引进了PAS2400。没想到,PAS 2400杰出的对准性能与稳定性,让他们大大提高了芯片的质量与产量,算是为ASML的质量口碑埋下了一粒珍贵的种子。

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PAS 2400,图片来自《光刻巨人》

至暗时刻

上世纪八十年代中后期,在世界范围内爆发了一场金融危机。这场经济衰退同样影响到了科技行业,各个巨头的日子都不好过,对于光刻机的订单自然也大幅减少。

首当其冲的是GCA公司。GCA公司依靠先发优势占据了市场第一的位置,但一直没有很好地解决产品的质量问题,却寄望于不断扩大产能来保持市场地位。

这在快速膨胀的泡沫市场里或许还能玩得下去,但经济衰退来临,芯片制造商们转而追求以更低成本生产更多芯片。这就将关注点从添置机器转移到提高光刻机的质量上来,这恰好是GCA的软肋。

一向注重细节与质量的日本厂商尼康与佳能反而后来者居上,完成了一次精彩的超越。不过ASML的PAS 2500还欠缺一些火候,经济衰退让他们也无法接触到更多客户,而研发却又需要源源不断地投入。

斯密特对于资金挥霍式使用的态度,引起了飞利浦与ASM高层的不满。他们希望斯密特能将辛苦筹来的钱,精打细算一番再花出去。斯密特并不以为然,当面答应,回去还是我行我素。

要命的是,此时的母公司ASM也创纪录地亏损。德尔·普拉多在ASML上投资数年,几乎把ASM赚的钱都赔了进去,这自然让投资者们怨声载道。他也承受着极大的压力。

终于,德尔·普拉多跟贾特·斯密特摊牌了。他要求斯密特大幅削减成本,这就要裁掉大量员工,砍掉许多项目。斯密特当然不愿意,甚至还要求德尔·普拉多再加大投入。

这样两人根本说不到一块去,爆发了一场激烈的争吵,最后闹得不欢而散。自此之后,斯密特也是心灰意冷,动了离去之心。没过多久,贾特·斯密特黯然离开他为之奋斗了三年的ASML。

在这种情况下,一时间人心惶惶。没有办法,只好由德·克鲁伊夫出面,将准备过退休生活的维姆·特罗斯特请来救火,临时担任一下过渡CEO。

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维姆·特罗斯特,摄于2016年,图片来自《光刻巨人》

ASM最终还是决定不玩了,三年投入,3500万美元,德尔·普拉多认了。现在ASML的命运转到飞利浦手中了,要么ASML原地解散,要么飞利浦对ASML继续输血。

其实这个时候的飞利浦也是快要瘦死的骆驼,自己日子也很不好过。在决定ASML命运的关键会议上,飞利浦董事会里的一位德国人格德·洛伦茨站了出来,慷慨陈词,说服董事会保留这颗火种,等待星火燎原之日。

不管怎么说,ASML不会马上被解散了,他们又获得了喘一口气的机会。但夜空还是漆黑一片,谁也看不到光明在哪里,会在什么时候到来。曾有评论说那个时候的ASML,就是已经躺在ICU的病床上了,等待着随时把管子都拔掉的那一天。

幸好,这真的是黎明前最后的黑暗时刻了,天边隐约出现了一线光明。

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崛起

当ASML的竞争对手从GCA换成了尼康之后,他们的日子越发地难过。虽然又回到了飞利浦的怀抱里,但母公司能给的资源也并不多,在几次山穷水尽之时,ASML反倒是从欧洲共同体获得了救命的资金。

欧洲共同体最早是由数个主要的欧洲国家组成,就是今天欧盟的前身。欧共体是一个超越了国家的组织,能够关注到战略层面的事物。这也是在当时的世界经济格局里,美国、欧洲、日本三足鼎立的原因。

直接用来生产芯片的光刻技术,自然也受到了关注。尽管ASML不赚钱,还一直在烧钱,但凭借其出色的技术底蕴,仍然得到了欧共体的支援。

还有一个让ASML在重重困难中存活下来的重要原因,说起来有些不可思议,那就是经济衰退。八十年代中后期的那场经济衰退,打击的是整个光刻机产业,哪家的日子都不好过,市场本身的蛋糕就小得可怜。

这意味着ASML可以专心于产品研发上,而不用考虑市场问题,反正谁家的产品也卖不出去。这样生产的成本就可以减少,日子虽然过得紧巴,但好歹这口气还吊着。

再加上斯密特之后继任的CEO维姆·特罗斯特,本就是个典型的飞利浦式技术管理者,稳重、注重细节、等级分明、成本意识强烈。特罗斯特主政的两年,财务状况仍然吃紧,但开销得到了控制,研发也确实做得十分成功。

ASML很清楚自己的定位,在没有足够多的成功案例时,他们还无法打动Intel、IBM这样的巨头。他们的目光瞄向的是AMD,以及中国台湾的一些晶圆代工厂。

其中,台积电就是一个典型代表,今天的台积电已经是全世界最大的芯片制造商。1987年,时年56岁的张忠谋从美国回到台湾创办了台积电。他在美国从事了多年的半导体行业工作,可以说准确地预见到了未来的世界对芯片有着巨量的需求。

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但是因为文化上的差异,采购谈判是相当艰难的。在传统的东方观念里,为看不见的服务支付费用是难以接受的,钱必须要换回看得见摸得着的东西。

要说ASML也该是霉运出尽,否极泰来了。一场令人意想不到的大火烧毁了台积电的工厂,他们急需恢复生产,于是爽快地向ASML下了17台PAS 2500光刻机的订单。

有了这笔订单,ASML终于有了真正意义上的客户。同时其产品也得到了实战生产的检验,PAS 2500出色的质量与稳定性也通过台积电在业内打响了名头。

一个新的王朝悄然崛起。

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PAS 2500,图片来自《光刻巨人》

蔡司的镜头

虽然大客户是有了,但PAS 2500仍然还有问题,只不过这问题并不是出在ASML身上,而是他们的镜头供应商,蔡司公司。

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卡尔·蔡司,图片来自《光刻巨人》

蔡司作为一家传统的德国公司,在各种专业镜头的制造上一直享有极高的声誉。但蔡司也保留了德国人那种严谨刻板的风格,他们精于不断改进其产品,但却拒绝承认外部合作者指出的产品中的问题。

GCA公司最后黯然离场,其中一个很大原因,就是使用的蔡司镜头是有问题的,而这一直没有得到解决。这固然有GCA公司自己的缘故,也和蔡司的工作作风有很大关系。

虽然市场上也有别的厂商能生产镜头,但品质上都无法和蔡司相比。ASML早期是和法国的CERCO公司采购镜头,当ASML需要为新产品升级镜头时,CERCO公司答应做研发,但就是迟迟无法交付。

最后ASML的工程师们发现,这家法国公司其实已经躺在政府提供的经费里安逸度日,根本没有进取之心。ASML管理层只好痛下决心结束合作,只能把宝都押在蔡司身上了。

其实蔡司自己的日子也很不好过,在世界将要步入信息化时代时,他们还是守着百十年前流传下来的工作方式。即依靠经验丰富的工匠手工打磨镜片,这样的工匠被称为“金手指”,而一个“金手指”的培养周期是六到八年。这样的工匠数量显然是不会很多的,这就限制了镜头的产量。

在技术上蔡司则倾向于保守机密,不愿意与其他公司进行深入合作。光刻机镜头的制作比其他光学仪器要更为复杂,而且需求量也不会太大,这让处在困境中的蔡司更不会投入太大。

可是ASML已经不能再等了,他们已经为下一代产品PAS 5500规划了架构与技术路线图。对准技术与移动技术都已经达到要求,最大的短板就在镜头这儿了。

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蔡司的中央光学生产车间,图片来自《光刻巨人》

彼得·格拉斯曼

蔡司公司因为糟糕的业绩,只好临阵换帅,董事会看中了西门子医疗设备部门的负责人:彼得·格拉斯曼。说实话,格拉斯曼并不愿意去蔡司,因为这家公司的境况已经众所周知了。

但格拉斯曼在了解蔡司的历史之后,又为其创业精神所感动,于是同意出任CEO一职。为了降低亏损,格拉斯曼必须要收缩产品线,并进行大规模裁员,同时还要保持生产满足客户的需求。

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彼得·格拉斯曼,图片来自《光刻巨人》

这怎么看都是走在一根超高难度的钢丝上,但格拉斯曼别无选择。迪特尔·库尔兹是蔡司公司半导体光学技术部门的负责人,他对接ASML公司的技术需求,并交付产品给ASML。但生产工作是由中央光学车间完成,其负责人是克劳斯·利希滕贝格。

于是奇怪的局面出现了,格拉斯曼要求库尔兹加大生产规模,交付更多的镜头给ASML。但却要求利希滕贝格裁减人员,以节约成本。无论谁都看得出来,传统的生产方式根本不可能完成要求。

随着ASML不断施加压力,脾气火爆的格拉斯曼也给手下造成更大的压力。终于有一天,库尔兹决定跟老板摊牌,告诉他按目前的生产方式是行不通,生产需要改造成智能自动化的方式,但这需要投入8500万美元。

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迪特尔·库尔兹,图片来自《光刻巨人》

蔡司在事实上已经接近破产,要加大投入无异于痴人说梦。但格拉斯曼却异常地平静,说“你会得到这笔钱的”。因为他对于机会有种非常敏锐的直觉,他看到了提高光刻机镜头产量能够带来的转机。

幸好此时的ASML已经在市场上站稳了脚跟,还能够拿出资金来支持蔡司做自动化生产的改造。而蔡司也改变了传统的做法,不再技术保密,与ASML的工程师精诚合作。

双方真诚的合作在短时间内就创造了奇迹,既解决了镜头上长期遗留的问题,而且自动化生产系统也摆脱了对“金手指”的依赖,镜头产能终于跟上了ASML发展的步伐。

这对ASML和蔡司来说,是一个真正双赢的结果。

第三任CEO

维姆·特罗斯特在CEO任期内最大的贡献有两个,一是PAS 2500的成功研发,二是发展了真正意义上的客户。但他那刻板严谨的飞利浦式工作风格,与贾特·斯密特所创立的开放自由的风格并不怎么搭调。

特罗斯特的继任者是来自飞利浦的威廉·马里斯。ASML的人初听到这个名字时,心里头并不是很爽,因为这并不是他们所期待的人选。马里斯在飞利浦以“软弱”而闻名。

马里斯并不适合飞利浦的那种权力斗争场,但这不意味着他缺乏做事的能力。来到ASML以后,初期果然如大家预料的,马里斯似乎没什么主见,并没有展现出强势的魄力来。

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威廉·马里斯,图片来自《光刻巨人》

马里斯掌管ASML时已经进入了九十年代,ASML成立了六年,仍然还在亏损。虽然有了AMD、赛普拉斯、台积电这样的客户,但离盈利还有距离,他们将目光瞄向了IBM这样的巨无霸公司。

PAS 2500是满足不了IBM对芯片的要求的,只有PAS 5500这款产品成功研发出来,才能打败竞争对手尼康。可当时的问题在于,蔡司的镜头存在问题,而蔡司拒绝配合ASML,并且也不愿意在半导体光学上增加投入。

这时候马里斯就发挥出了重要的作用。马里斯性格温和,善于交流,能够获得他人的信任。当他融入ASML公司之后,大家都发现这个CEO没有架子,且待人平等,所以都愿意和他倾心交流。

可以说,这就是一个出色的“政委”式的领导者。马政委能够将一帮子极具个性的技术工程师们团结一心,听从号令,这就是其与众不同之处了。

马政委多次出面与蔡司公司沟通,积极地向对方传达ASML的市场前景讯息,以及希望真诚合作的意愿。话说精诚所至,金石为开,蔡司再怎么顽固,总要被敲开一两道缝的。更何况他们自己也朝不保夕,不变是一定死,变还有一线生机。

江山定鼎

ASML拥有维特科克这样的首屈一指的科学家,也有马丁·范登布林克这样优秀的系统工程师。正是在这二人的不懈努力下,PAS 5500在拿到了蔡司合格的光学镜头后,终于在技术上完成了最后一块拼图。现在就看市场了。

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马丁·范登布林克,图片来自《光刻巨人》

IBM此时也无限接近于采购PAS 5500,这样优秀的产品没有理由要错过。此处还有转折——但是,IBM无意中培养起Intel与微软这两个对手时,就输掉了在PC上的战争。他们自己在九十年代初也深陷泥潭了。

随后路易斯·郭士纳上任,大刀阔斧地改革,要和大象跳舞。他把IBM的业务从制造转向了服务。这样,ASML要把光刻机卖给IBM的愿望就落空了,命运就是这么跌宕起伏,你都不知道明天和意外究竟哪一个会先来。

太阳还是升起来了,这一次带来希望的是韩国人。三星公司是一家国家级的企业,韩国为了在国际市场上竞争,向本国几家大公司倾注了巨大的资源。而三星则将赌注全部押在了PC机的内存DRAM生产上。

三星预测的这个未来是相当准确的,现在他们需要的是能够实现这个梦想的产能。ASML的光刻机在性能上无疑是市场中最优秀的,但韩国人店大欺客,不仅要求大幅度的折扣,还要ASML承诺做大量的定制化工作。

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这让商务谈判一开始就陷入了僵局,在几年时间里都是谈崩之后不欢而散。不过时间不等人,眼见着PC市场的规模急速扩张,内存的需要越来越大,双方都有点坐不住了。

还是马政委出面,跟三星公司大讲“拥有价值”理念,说得韩国人点头称是,于是马政委飞往首尔,顺利签约。

“拥有价值”的意思,就是你们别嫌我们机器贵,我们的质量是最好的吧?要能帮你最快速度把钱赚回来,跟现在多掏的百八十块比,你赚回来的得是十几二十倍这个数吧?

在三星这样的客户身上打开局面,ASML是真正地从亏损走向了盈利。终于,ASML也阔绰了起来,还清了多年的债务,有资金投入到自主研发,让投资人也获得了回报。

实现了盈利的ASML公司迫切地需要更多的资本,管理层将目光看向了公开上市这条道路。在为了上市而进行路演的那段时间里,还是靠着马政委的那张嘴,向大众及投资人普及ASML的业务特点与技术优势,让这家荷兰公司迅速引起了世界的关注。

1995年3月15日,ASML在纳斯达克IPO。如今ASML的股价在600多美元,市值2600多亿。

手里有了钱的ASML,继续保持了在技术上对尼康的碾压式优势。时至今日,ASML占据了光刻机市场80%的份额,而尼康和佳能也在生产光刻机,不过打的是低价竞争牌了。

ASML王朝建立,君临天下。

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将尼康彻底甩开的扫描光刻机,图片来自《光刻巨人》

结语

这一个长长的故事写下来,我体会到很关键的一点,就是基础技术的战略地位是极其重要的。这不同于依靠商业模式的创新,虽然中国的互联网企业也能做到世界级的规模,但承载所有这些服务的芯片和系统能力,我们还无法完全掌控。

所以,美国向中国的科技企业发起攻击的*器武**,就是在一块小小的芯片上。而且我们即使预料到美国会怎么干,其实也没有太好的办法。因为这种底层的差距,都不是光靠烧钱堆资源能弥补的。

ASML的成长就是典型的例子。如果真的只让ASML完全市场化竞争,那它活不过头三年。ASML从成立到盈利整整花了十年时间,这中间除了母公司,荷兰政府和欧共体也一次又一次地向其输血、给资源。

这样的投入,才换得了欧洲在芯片制造上的话语权。这相比于多几家电商、社交公司,在战略层面上显然重要得多。

我们也取得了一些成绩,华为公司在5G时代就获得了先发优势。这也是美国把中国作为一个对手来看待的原因,虽然当前在底层技术上还存在差距,但谁也不敢说中国什么时候就会追赶上来。

真心希望我们也能在底层战略科技上,早日成为巨人!

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