光刻机重点看一上海微,二亦庄。
光刻机拆解: EUV光刻机 三大核心 技术包括顶级的光源 (激光系统) 、高精度的镜头 (物镜系统) 、精密仪器制造技术 (工作台), 国望光学、科益虹源 均是承担核心零部件研发企业 。

国望光学:国内光刻机物镜系统供应商 ,完全继承了中科院股东单位 在极大规模IC光刻机曝光光学系统研发领域 的知识产权,从 根本上解决 我国IC制造投影 光刻机曝光光学系统 及高端精密光学装备的产业化问题。
科益虹源:国内第一、全球第三的光源企业 ,是国家02重大专项 “准分子激光技术”成果的产业化载体 ,拥有准分子激光技术研究、产品开发的能力。

北京亦庄投资: 麦克奥迪是北京亦庄投资 (国望光学控股股东、科益虹源二股东) 旗下 唯一 上市公司,亦庄投资入主麦克奥迪时 承诺调动优质产业资源 推动光学显微镜等的发展, 市场猜测或有资产注入预期 。
麦克奥迪: 智慧 光学应用平台 和电气能源科技平台,是全球 光学显微镜领域的知名品牌之一, 国内少数中高端显微镜公司之一(国内显微镜 市场份额为17% )。

麦克奥迪 是亦庄投资唯一控股上市公司, 入主麦克奥迪时承诺 :调动优质产业资源 推动智慧医疗、光学显微镜等的发展。
麦克奥迪 是 亦庄投资控股 的 智慧光学应用平台和电气能源科技平台,公司是国内少数中高端显微镜公司之一,在国内显微镜市场份额为17%。
亦庄投资是 光刻机国家队 国望光学控股股东 和 科益虹源 二股东。

光刻机的国家队:上海微电子负责总体集成(张江高科),上海光学精密机械研究所负责超精密光栅系统,北京国望光学负责光刻机物镜组,科益虹源负责光源,浙江启尔机电负责浸液系统,华卓精科负责双工件台。
科益虹源主要业务就是光刻机中的三大核心技术之一的光源系统,是国内第一、全球第三的193nm ArF准分子激光器企业。
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