中国矿业联合会萤石工业开展作业委员会发布的《报告》显示,2023年全球萤石产值约890万吨,我国萤石产值总量630万吨,占全球的70%左右。
萤石是含氟特种气体主要原料,中国又是萤石大国,因为这些,所以……
从数量来看 ,我国含氟电子特气公司数量庞大;
从产能来看 ,我国含氟电子特气只有更大,没有最大;
从品类来看 ,你能想到的几乎所有含氟电子特气,中国企业都能做。气体圈子第八届特气大会首次在中国市场公开分享用于半导体刻蚀工艺使用的电子级PF3。我原本以为是个新东西,后来一聊,天津某公司10年前就已经做出来了,只是当时没有太大的市场需求。上海半导体展再次见面时,该公司老板说他们已经做了数吨级的产品规划,目前已经有几家国际用户积极推进产品验证。

所以说,含氟特气已经没有太多新东西玩了。那么,特气公司下一步的发展方向是什么呢?
此时,国产化率相对较低的硅基材料走向台前。
硅基特气和前驱体主要用于半导体集成电路存储器和逻辑芯片制造的关键工艺,也是专业特气公司的发展方向。
2016年,雅克科技收购韩国半导体前驱体材料企业UP Chemical,开始进军半导体前驱体行业。
2020年,南大光电决定购买DDP公司名下新型硅前驱体系列的19项专利资产组。
正帆科技表示,半导体前驱体市场空间广阔,公司持续加大半导体前驱体研发力度,在2022年底实现了突破。
随着半导体制程技术的迭代,氨硅系列前驱体和碘硅系列前驱体引发关注。例如,双(叔丁氨基) 硅烷(BTBAS) 、双(二乙氨基) 硅烷(BDEAS) 、三(二甲胺基)硅烷(3DMAS) 、三甲硅烷基胺(TSA)和二碘硅烷等,二碘硅烷被视为从10nm线宽跨越到6nm线宽制程的关键硅源物质。
