电子特气产业链全景解析 (特气上市公司有几家)

国内工业气体市场规模增速较快,人均工业气体消费量提升空间较大。工业 气体产品可分为大宗气体和特种气体两大类,2018 年全球工业气体市场规 模约为 1220 亿美元,我国市场规模为 1350 亿元,2010-2018 年年均复 合增长率达到 16.05%,在高增长的同时 2018 年我国的人均工业气体消费 只有美国的 1/26,未来提升空间较大。 国内半导体、液晶面板、光伏等行业快速发展带动特种气体需求增速保持较 高水平。2018年全球电子特种气体市场规模45.12亿美元,我国电子特种气 体的市场规模为121.56亿元,同比增速11%。伴随国内半导体、液晶面板、 光伏等行业需求提升,预计国内电子特气需求将继续保持高增速,预计到 2024年国内电子特气市场规模将达到230亿元。 电子特气行业进入壁垒较高,下游客户对生产企业的技术开发能力和产品稳 定性提出较高要求。因下游集成电路等行业技术迭代速度较快,且集成电路 单一客户需要的特种气体种类就超过 50 种,客户对生产企业的配套产品开发 能力要求较高;同时电子气体对半导体器件的性能影响巨大,因此对特种气 体纯度和精度的要求较高。客户一般会对气体产品进行长时间的试用和认证, 一旦建立合作关系后不会轻易更换气体供应商,因此电子特气行业进入壁垒 较高,与客户合作后也会产生较大粘性,综合实力较强的公司才能脱颖而出。

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金宏气体:民营气体龙头企业,打造气体行业民族品牌 金宏气体是国内民营气体行业的龙头企业。2017-2018 年公司销售额连续两年在协会的民营气 体行业企业统计中名列第一,客户包括华润微电子、华力微电子、京东方、三星电子、三安光 电、聚灿光电、通威太阳能等。2019 年公司实现营收 11.6 亿元,归母净利润 1.77 亿元,其 中电子特种气体营收 3.91 亿元,占比 34%。 2019 年公司销售毛利率为 48.59%,2017-2019 年公司各业务毛利率均逐步提升。2020 年 Q1 营收为 2.52 亿元,增速 0.20%,归母净利 0.2 亿元,增速-38.38%。H1 预告归母净利 0.77~0.86 亿元,增速 1.96%~13.95%。 金宏气体特种气体主要产品以超纯氨、氢气和氧化亚氮为主。我国超纯氨市场目前已基本实现 进口替代,市场集中度较高,公司市占率超过 50%。我国本土高纯氢企业主要在零售氢气供 应市场竞争,客户多为各类电子企业、有色金属深加工企业等,2017 年需求量已达到 2.58 亿 立方米,预计 2022 年中国高纯氢气需求量就超过 4 亿立方米,我国高纯氢气行业发展前景向 好。在集成电路和 LED 芯片的制作过程中,高纯氧化亚氮经化学反应生成的 SiO2 膜被沉淀到 硅衬底上,属于化学气相沉积过程;高纯氧化亚氮也应用于 TFT-LED 及 OLED 生产的显示 屏制作过程中,需求量增速较快。 公司大力发展现场全面运维 TGCM 业务:TGCM 是 Total Gas and Chemical Management (全 面气体及化学品运维管理服务)的简称,指气体供应商为半导体制造商提供的一整套气体及化 学品综合服务,包括产品管理、设备管理、工程和技术支持服务、分析服务、信息管理服务以 及废物管理等。公司在国内同行中率先开展此业务,该业务增强客户黏性,利于产品持续导入, 2017 年起公司陆续与亨通光电、乾照光电、聚灿光电等签订长期的项目管理合同,2019 年与 三星电子签订了气体供应系统全套运维管理服务合约。 公司募投项目贡献利润增量。公司于 2020 年 6 月上市,募投资金用于六个项目,其中张家港 金宏气体有限公司超大规模集成电路用高纯气体项目、年充装 392.2 万瓶工业气体项目、年充 装 125 万瓶工业气体项目投产后预计新增利润总额 1.26 亿元。

华特气体:半导体特气领先企业 华特气体是国内率先打破极大规模集成电路、新型显示面板等尖端领域气体材料进口制约的国 内半导体特气领先企业。2019 年公司营业收入 8.44 亿元,同比增长 3.23%,实现净利润 7259 万元,毛利率 35.38%。其中电子特种气体营业收入 4.48 亿元,占比 53%。2016-2019 年公 司特种气体毛利率基本较为稳定,维持在 40%附近。2020 年 Q1 营收 1.89 亿元,增速 13.85%, 归母净利 0.17 亿元,增速-9.71%。 公司已成功进入较多半导体客户供应链体系:目前华特气体已经实现了高纯六氟乙烷、高纯三 氟甲烷、光刻气、高纯四氟化碳、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯八氟丙烷、高纯一氧化 氮等近 20 个产品的进口替代。完成了对国内 8 寸以上集成电路制造厂商超过 80%的客户覆盖 率。高纯三氟甲烷等部分产品已批量应用到半导体制程 14 纳米和 7 纳米工艺,高纯锗烷等产 品已通过海力士先进制程的验证。4 种混合气于 2017 年通过 ASML 公司的产品认证,目前公 司是长江存储战略供应商,与中芯国际保持密切合作。 公司储备产品较多:公司目前储备的品类有 20 多个,未来会瞄准先进制程的腐蚀类和合成类 气体。2019 年下半年,锗烷产品通过海力士认证,一氟甲烷产品正处于液化空气集团美国分 公司、大阳日酸株式会社及中芯国际等客户的认证过程中。 募投项目将贡献增量业绩新增收入。公司于 2019 年 12 月上市,募投资金用于四个项目,其 中气体中心建设及仓储经营项目、电子气体生产纯化及工业气体充装项目投产后预计新增销售 收入 5.04 亿元

南大光电:半导体材料多点开花,收购飞源气体打开特气业务成长空间 南大光电目前主要业务包括 MO 源、电子特气,同时公司正在推进光刻胶及配套材料、ALD 前驱体产品业务。2019 年公司营业收入 3.21 亿元,归母净利 5501 万元,其*特中**气业务营业 收入 1.64 亿元,同比增速 108.81%,占比营收 50.9%,毛利率 49.98%。 公司持续提高科研能力、技术转化能力。目前公司全力打造“ MO 源全球第一,电子特气国 内一流,193nm 光刻胶成功产业化” 三大核心业务的核心架构。公司已安装完成一条 193nm 光刻胶生产线,处于调试阶段,自主研发制备光刻胶用的高纯原材料,正在进行客户评估工作。 公司已掌握多种 ALD/CVD 前驱体材料的生产技术,并且具备规模化生产的能力,可提供包 括 TDMAT 在内的多种产品,部分产品已通过客户验证,实现小批量销售。 公司收购飞源气体布局含氟特气。公司高纯磷烷、砷烷已在 LED 行业取得主要份额,在 IC 行 业快速替代进口,市场份额也在逐步的增高。在不断开拓现有产品市场的同时,公司也在积极 开发特气新产品。包括硅烷、硼烷等多种混合气体的项目已基本完成,并将逐步投放市场。为进一步推进电子特种气体业务的布局与发展,公司采用现金收购及增资方式取得山东飞源气体 57.97%的股权。飞源气体现有三氟化氮产能 1000 吨、六氟化硫产能 2000 吨,三氟化氮已 成为台积电、台湾鸿海集团、京东方、华星光电、龙腾光电、重庆惠科等厂商的核心供应商。 鸿海集团深圳 SDP 也完成了电子级 SF6 的导入。 特气业务积极扩产提升产能。公司计划将电子特气的产能扩大一倍,一期将扩产磷烷 17.5 吨, 二期再扩产磷烷 17.5 吨和砷烷 15 吨,以应对市场对砷烷磷烷,特别是砷烷的需求。

昊华科技:含氟特气及高端氟材料带动公司快速发展 昊华科技通过收购大股东中国昊华下属 12 家优质化工科技型企业,转型升级为先进材料、特 种化学品及创新服务供应商。2019 年公司营业收入 47 亿元,归母净利 5.25 亿元,目前主要 供货的特气产品为三氟化氮和六氟化硫,特气业务营业收入 3.87 亿元,同比增速 28.4%,占 比营收 8.91%,毛利率 33%。 继续拓展含氟气体项目。公司所属黎明院重点实施了与韩国达成合作建设的 2000 吨/年三氟化 氮项目,产品广泛应用于蚀刻、清洗、离子注入等工艺。2020 年 3 月黎明院计划新建年产 4600 吨特种电子气体项目,包括 3000 吨/年三氟化氮、1000 吨/年四氟化碳和 600 吨/年六氟化钨, 根据项目可行性报告分析,项目总投资收益率为 14.53%,财务内部收益率 17.07%,项目投 资回收期 6.66 年(含建设期 1.5 年)。 承接国家重点项目:(1)电子级六氟化钨:连续稳定制备 5N 纯度的电子级六氟化钨产品(产 能 100 吨/年),实现销售收入 6000 万元。目前已完成工艺放大优化并制备出合格产品,并向 客户供货。(2)环保绝缘气体:国家科技部重点研发计划项目,开发 C4F7N 的氟化合成、精 制提纯、工程放大和质量检测技术,目前完成中试验证。(3)高纯电子气体:国家科技重大专 项项目,开发电子气体工程化关键共性技术,已完成华润上华硼烷混合气的产品验证。 (4) 6N5 高纯砷烷材料:大连市重点科技研发计划项目,开发 6N5 高纯砷烷材料制备及批产技术, 目前已完成砷烷合成及分析检测技术研究已完成砷烷合成反应釜、精馏等关键设备的设计加工 和定型设备采购。

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雅克科技:积极打造战略新兴材料平台,电子特气业务积极扩产 公司在成功并购华飞电子、江苏先科和成都科美特以后,公司业务发展为以电子材料为核心, 以 LNG 保温绝热板材为补充,以阻燃剂业务为辅助的战略新兴材料平台型公司。公司电子材 料业务具体包括前驱体/SOD、电子特气、LDS 输送系统、光刻胶和球形硅微粉业务。2019 年 公司营业收入 18.32 亿元,归母净利 2.93 亿元,其中电子特种气体业务营业收入 3.95 亿元, 占比 21.57%,营收同比增速 53.82%,毛利率 50.89%。 通过并购重组,布局电子特气业务,四氟化碳产品已稳定供应半导体客户。公司子公司科美特 主要产品为六氟化硫和四氟化碳,电子级四氟化碳和六氟化硫主要用于刻蚀环节,符合工业标 准的六氟化硫气体主要用于输配电及控制设备行业(电绝缘性好)。自 2016 年 4 月至今一直 为台积电 Fab 14A 厂的唯一供应商供应高纯四氟化碳产品,科美特还为美国 Intel、美国 TI 等 半导体制造商供应四氟化碳产品。工业级六氟化硫产品主要供应国内电力设备生产商,如中国 西电,平高集团、泰开集团等,电子级六氟化硫销售给国外半导体厂商。 电子特气业务积极扩产。公司目前具备年产六氟化硫 8500 吨、电子级四氟化碳 1200 吨的 产能,计划在建六氟化硫产能 10000 吨/年,四氟化碳产能 2000 吨/年,并有 3500 吨/年的 三氟化氮产能正在建设中,生产规模在国内处于领先地位。

和远气体:立足湖北市场,巩固地域优势 公司是华中地区知名的民营专业气体企业,在瓶装气体市场公司在湖北省占有 70%的市场份 额,液态气体市场份额在华中区域拥有绝对优势。2019 年公司营业收入 6.66 亿元, 实现净 利润 8453 万元,毛利率 43.94%。2020 年 Q1 营收为 1.01 亿元,同比下滑 30%,归母净利 0.11 亿元,同比下滑 38.65%。 公司与较多下游客户形成长期合作关系。公司主要的产品为氧气、氮气、氩气等普通气体,其 中工业气体客户包括兴发集团、烽火通信、格力电器、美的集团、晶科能源、武钢气体、三宁 化工;食品级液氮客户包括顶津食品、红牛饮品、百事食品、伊利乳业、汇源果汁、银鹭集团; 医用氧客户包括武汉儿童医院、宜昌市中心医院等大型医疗机构。 公司投资建设电子特气产业园项目。2020 年 4 月公司发布公告,将投资 2.8 亿元在湖北省潜 江化工园兴建电子特气产业园,主要产品为电子级超纯氨 8 万吨/年,电子级高纯氢气 32000 万方/年(最大产能)。 募投项目巩固产品优势。公司于 2020 年 1 月上市,募投资金用于六个项目,其中潜江年产 7 万吨食品液氮项目、鄂西北气体营运中心项目、湖北和远气体猇亭分公司气体技术升级改造项 目、兴发集团宜昌新材料产业园气体配套及尾气提纯利用项目投产后预计新增产值 3.5 亿元。

凯美特气:国内食品级液体二氧化碳龙头企业 公司已成为目前国内以化工尾气为原料,年产能最大的食品级液体二氧化碳生产企业。已形成 年产 36 万吨高纯食品级液体二氧化碳生产能力。公司 2019 年营业收入 5.15 亿元, 实现归 母净利润 8921.77 万元,毛利率 46.79%。 公司与下游客户形成了稳定的合作关系。公司是可口可乐和百事可乐等公司在中国的策略供应 商,客户有杭州娃哈哈集团、屈臣氏集团、百威英博啤酒集团、珠江啤酒集团、青岛啤酒、华 润雪花啤酒,中国中车集团、中船重工集团武昌船舶重工有限公司、中国船舶工业集团广州中 船黄埔造船有限公司、武汉钢铁(集团)公司、铜陵有色金属集团控股有限公司、三一重工、 中联重科、山河智能、岳阳林纸等。 积极开发电子特种气体。公司电子特种气体稀有项目于 2018 年 1 月 17 日由岳阳市发改委批 准立项,项目通过生产设备选型和关键工艺技术的研发和掌握,可以生产高质量的电子特种气 体。一期效益预测生产达到预估销售量时,年均销售收入为 12959 万元(含税),年平均利润 总额 7339 万元。目前已完成工程主体建设及设备安装、调试工作,2020 年 1 月进入试生产 阶段,公司已启动多个认证程序。

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