11月21日上午,江苏省经信委“首台套”专家认定小组一行数人来常熟,对苏州晶洲装备科技有限公司(以下简称“晶洲装备”)“G6 AMOLED 湿法刻蚀机”进行了首台套现场核查。这是晶洲装备自2014年柔性显示材料清洗设备获得首台套荣誉之后,再次迎来了“首台套”专家认定小组的认定审核。
晶洲装备自行开发设计生产的“G6 AMOLED 湿法刻蚀机”,主要应用于G6 AMOLED平板显示制程的阵列(Array)段,其原理是利用化学的方法对经过曝光与显影后的基板表面金属膜层进行均匀刻蚀,进而形成光刻定义的电路图,是刻蚀工艺的核心载体设备。晶洲装备率先研制了极紫外表面改性系统、刻蚀药液溶度控制系统、高速药液置换系统等,并将其应用于“G6 AMOLED 湿法刻蚀机”,实现刻蚀过程的高度均匀性及稳定性。该项目共形成知识产权21项,其中,获得授权发明专利2项,实用新型专利13项。会上,审核组专家听取了产品的情况汇报,并考察了研发生产现场,对此项目给予了充分肯定。

江苏省首台套重大装备认定核查

江苏首台套重大装备认定核查
中国作为全球最大的消费电子市场,在一些核心技术和设备上无法突破,屡屡受制于人。在平板显示领域,由于国内相关产业发展晚于日韩企业,国外的技术垄断与*锁封**等原因,造成该领域的前、中段生产设备主要仍由国外企业垄断。此次晶洲装备AMOLED湿法刻蚀设备首台套的申报,是平板显示领域湿法装备国产化的新高度,同时也体现晶洲装备努力奋进,继续前行的决心。

江苏首台套重大装备认定核查
