蓝宝石衬底的加工与应用 (蓝宝石生产如何节约成本)

氮化镓(GaN,跟内行交流的时候,你可以很直接的把它按照拼音读出来,会显得非常专业!要是不行你回来骂我。)是第三代半导体材料,也是宽禁带半导体的典型代表,广泛应用于光电、射频、微波、功率器件等领域, 包括电力电子器件(GaN充电器就是这个噱头)、微波射频器件、可见光通信、太阳能、半导体照明、紫外光存储、 激光显示以及紫外探测器等等。

简单科普:以蓝宝石做衬底来以降低成本的GaN是有多贵?

2022-2026年全球GaN功率半导体市场趋势

根据TrendForce集邦咨询《2023全球GaN功率半导体市场分析报告》显示,全球GaN功率元件市场规模将从2022年的1.8亿美金成长到2026年的13.3亿美金,复合增长率高达65%。

相比于第一、二代半导体而言,第三代的半导体材料GaN堪称五边形战士, 可以很好的实现与第一、二代半导体技术的性能与应用互补。

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第一二三代半导体性能对比

GaN的诞生史

  • 1871年,德米特里·门捷列夫(Dmitri Mendeleev)预言了镓(Ga)元素的存在;
  • 1875年,保罗·埃米尔·勒科克·德布瓦博德兰(Paul-Émile Lecoq de Boisbaudran)发现所发现镓元素;
  • 1932年,研究人员在George Herbert Jones实验室,将金属镓和氨在900℃至1,000℃的高温下进行反应,合成了GaN材料。
  • 1969年,H.P. Maruska和J.J. Tietjen首次利用氢化物气相外延(HVPE)工艺在蓝宝石衬底上沉积出了GaN薄膜。

GaN为什么那么贵?

虽然,在理论上,同质外延可以发挥芯片的最佳电性能,对于如氮化镓这种极为昂贵的衬底材料而言更是如此。虽然异质氮化镓外延片存在晶格失配、热失配,但是其好处也是显而易见的,那就是可大幅降低氮化镓半导体的应用成本。

GaN材料的贵,贵就贵在太难了! 常压下GaN无法熔化,高温下直接分解为Ga和N2;在6GPa的高压下,其熔点也高达2300℃,导致GaN单晶的制备非常之困难。

举个简单的例子,2英寸GaN衬底价格约2000美元,作为对比6英寸SiC衬底价格约900美元,12英寸硅衬底价格约100美元。

所以为了降低成本、凑活性能,供应商一致的选择在其他衬底上进行GaN异质外延生长。

衬底与外延的基本概念

衬底是晶柱经切、磨、抛等工序后,用于起到稳定电热特性、物理承载的晶圆底部支撑材料 外延是在衬底上生长、沉积,用于为晶圆制造提供更高平整度、更低缺陷密度的薄膜材料。 外延材料可以与衬底材料相同(同质外延),也可与衬底材料不同(异质外延)。

用于GaN外延片的衬底有哪些?

当前,GaN外延片的异质衬底材料主要有三大类:硅(Si)、碳化硅(SiC)以及蓝宝石(α-Al2O3,又称刚玉)。

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几种GaN衬底的主要特性对比

GaN产业链分析

氮化镓龙头企业以IDM模式为主,其中Qorvo和Infineon在技术实力以及产能上保持较大的领先。Qorvo在国防以及5G射频芯片领域具备较大优势,最早推出39Ghz双通道GaNFET。Infineon专注于功率半导体领域,主要产品集中在6英寸GaN产线上,是市场上唯一可以提供氮化镓等全系列功率产品的公司。

GaN衬底市场主要由日本住友电工、三菱化学也以及新越化学主导,其市场份额占到90%以上,可以成熟提供4英寸以及6英寸GaN衬底。国内厂商包括苏州纳维以及东莞中镓,目前已经实现2英寸氮化镓衬底产品量产,对于4英寸氮化镓仍处于研发及试生产阶段,与国际领先厂商技术还存在一定差距。

市场上主流的GaN外延片供应商,包括日本NTTAT、比利时公司EpiGaN等。国内厂商包括晶湛半导体、苏州能华以及华功半导体等,其中晶湛已经建成了年产1万片6英寸氮化镓外延片生产线,技术实力已经向国际领先水平靠近。

从事GaN芯片设计厂商,包括EPC、GaN Sys以及Navitas等公司,主要面向功率器件设计。安谱隆以及RFHIC主要面向射频相关领域,其中安谱隆在2018年被中国资本以18亿欧元收购,提升了我国在GaN器件设计领域的实力。为设计公司提供晶圆代工的厂商包括稳懋、TSMC、富士通、世界先进、Cree等,国内海威华芯、三安集成等新兴代工厂也具备GaN晶圆代工能力。

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全球氮化嫁(GaN)产业图谱

国内氮化镓产业链公司,包括苏州能华、华功半导体以及英诺赛科等。英诺赛科建成中国首条8英寸硅基氮化镓外延与芯片大规模量产生产线,产品在氮化镓快充领域具备国际领先的技术实力。

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中国氮化嫁(GaN)代表企业及业务

后记,未来5年,GaN产业的发展前景

  1. 市场需求:随着5G通信、物联网、智能家居、新能源汽车等领域的快速发展,GaN材料作为具有优良物理性质的半导体材料,其市场需求将会持续增长。特别是在新能源汽车和充电设施领域,GaN的高效、节能、小型化等特点将得到广泛应用。
  2. 技术进步:随着科技的不断进步,GaN材料生产技术将会更加成熟,成本也会逐渐降低,这将进一步推动GaN产业的发展。同时,GaN材料的性能和应用领域也将会得到进一步拓展,例如在太阳能光伏领域的应用。
  3. 竞争格局:未来5年,随着GaN产业的不断发展,市场竞争也将更加激烈。企业需要不断提高自身的技术水平和产品质量,加强品牌建设和市场推广,以赢得更多的市场份额。
  4. 政策支持:各国政府对GaN产业的发展给予了高度关注和支持,未来5年内,政策支持力度将会持续加大,为GaN产业的发展提供更好的环境和机遇。

总之,未来5年内,GaN产业的发展前景非常广阔,市场规模和影响力将会持续增长。企业需要加强技术创新和市场推广,抓住机遇,迎接挑战,推动GaN产业的健康发展。

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