如何确保镀膜稳定性(第一部分)
全文共分四部分。
(一) 镀膜稳定性如何定义
(二) 随机厚度误差评估膜系设计
(三) 依据误差模拟设定镀膜速率、融药和伞转速等
(四) 小结
(一) 镀膜稳定性如何定义
镀膜光谱的重复性，是衡量机器稳定性的最关键指标，似乎没有之一。
通常的衡量方法是这样的。保持同一镀膜条件，连续重复10次或20次镀膜。测量每次镀膜后的光谱，通过对比这些光谱*特中**征点之间的差异，比如长波通中T50%点的分布，来直观判定稳定性的好与孬。
下图给出了某设备中圈位置连续7炉的长波通镀膜光谱。
图1 某设备连续7次所做的长波通
查看更多文章，请关注微信公众号《国泰真空》，工艺讲堂定期发布有关光学薄膜、工艺及设备相关知识，欢迎交流技术相关问题。
成都国泰真空设备有限公司致力于高端光学镀膜设备的研发，主要管理、技术、经营和装配人员具有多年真空产品生产管理和技术经验，我们致力于为客户提供幼稚的产品和良好的售后服务。包含定制化方案设计、高品质设备配置、精细的调试优、全时段服务支持主要业务。
公司坚持“以诚为本，以质取胜，精益求精，追求卓越”的经营理念，经过多年快速稳定发展，已成为国内领先的真空设备研发、生产、营销和服务为一体的专业化企业。