全球只有三个国家能制造光刻机,分别是中国、荷兰、日本。不过各自的光刻机产品种类,制程各不相同,其中荷兰的光刻机处于领先地位。
而日本可以绕开美国,独立生产光刻机。大致来看,光刻机产业有怎样的状况呢?荷兰光刻机变数增多的情况下,能否向日本进口光刻机?

光刻机产业状况
全球光刻机大部分的来源是荷兰ASML,这家公司是世界第一大光刻机制造商,不仅完全垄断EUV光刻机市场,而且中低端的DUV光刻机也有很大的市占比,每年能卖出几百台的光刻机。
可ASML的光刻机不是那么好买的,顶级的EUV光刻机有价无市。价格1.2亿美元一台,昂贵不说,关键还需要处于能够自由出货的范畴。
所以ASML大部分的销量都是DUV光刻机贡献的,产能充足,而且出货条件相对自由,ASML可以按照自己的想法将设备卖给客户。

当然,ASML的光刻机并不是唯一的选择,日本的尼康,佳能同样是光刻机巨头。而且尼康,佳能成名时间比ASML还要早,在ASML崛起之前,这两大巨头可以说是全球光刻机行业的“双子星”。
上个世纪九十年代是日本半导体的辉煌时期,许多世界领先的半导体公司均来自日本,这些公司遍布半导体的各个角落,从半导体设备到原材料,再到光罩、靶材、电容电阻等一系列的零部件几乎都是日本企业领先。
即便是美企,也未必能占据上风。日本的芯片产品不仅性价比高,而且质量突出,让许多国家都感到不小的压力。

别的暂且不说,单单是光刻机,就是各国芯片制造公司哄抢的对象。彼时全球光刻机巨头数量稀少,尼康,佳能的光刻机可以实现高精度微米制程的芯片工艺,又在几百纳米制程领域有较大竞争优势。
所以尼康,佳能的g线、i线、KrF光刻机都有很大的销售额。只不过光刻机制程发展到一定程度遇上了难题,光线波长无法进行缩短。
台积电前联合研发中心主任林本坚提出过浸没式光刻技术,通过多重折射让波长缩短。但由于是理论,并没有被佳能,尼康采用,也不被业内看好。直到ASML采用了这一方案,成功将理论变成了现实,一举突破光刻机制程桎梏。

ASML 就这样从一个小作坊变成光刻机巨头,并在漫长的发展历程中披荆斩棘,一步步攻坚克难并最终整合全球产业链,量产出EUV光刻机,奠定第一大光刻机制造商的宝座。
时至今日,依然维持以ASML为主的光刻机产业状况,ASML一家公司就垄断了100%的EUV光刻机市场份额,在中高端光刻机市场也有70%以上的市占率。而尼康,佳能主要分布在中低端市场领域,通过销售KrF,ArF等设备维持光刻机业务运营。

即便如此,尼康,佳能的光刻机实力也是不可小觑的,因为面向未来仍可以继续提升光刻机的精度。
能否向日本进口光刻机?
尼康,佳能各自都有提升光刻机产能的计划,加大市场布局,试图从客户手中得到更多的光刻机订单。如此一来,ASML的光刻机将不是唯一的选择。
在ASML面临诸多变数的情况下,我们能否向日本进口光刻机?或许有人好奇,日本可以绕开美国,独立生产光刻机,那么为什么我们不向日本进口呢?

其实尼康,佳能的光刻机与中国客户是有合作往来的,只不过进口程度没有ASML的大。
毕竟论产能和制程,ASML的光刻机有更大的竞争优势,自然容易被客户选购。如果客户走的是性价比路线,尼康,佳能的光刻机有较大概率获得订单。且由于ASML出货光刻机存在诸多变数,考虑其它厂商的光刻机是在情理之中的。

然而凡事皆有例外,“造不如买”的思想观念该有所改变了。日本尼康,佳能光刻机经过几十年的自主研发,形成独立的知识产权技术壁垒。
现在也许能买到光刻机,但为了以防万一,自己掌握制造技术会更有价值和意义。
虽然光刻机制造复杂,需要大量的零部件,且离不开全球化的支持,但如果能基于自主研发掌握核心技术,在光刻机的光源系统、物镜系统、双工件台、控制系统等核心部件有所积累,相信能够化被动为主动。

总结
光刻机可以说是人类智慧的结晶,被号称“工业皇冠上的明珠”,每一个零部件都是经历千辛万苦才研发出来的。进口光刻机可以节约时间,而自研路线对未来的发展有重要意义。所以在维持进口合作的同时,研发工作也不能落下,从源头上解决问题。
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