ASML(阿斯麦),这是当今世界光刻机产业的绝对主导者,但或许你不知道的是,在最开始,它只是 一个被遗弃的孤儿 。

光刻巨头阿斯麦
我是老K,这是光刻机大败局专题的第三期,在上一期里我们回溯了日本的半导体产业是如何通过朝鲜战争进入腾飞,又是怎样发动半导体界的“珍珠港事件”,结果被美国全面绞杀的。这一期里,我们要说的是,当今半导体产业霸主,ASML和台积电两家公司的诞生,以及这两家公司是 如何奠定当今世界半导体格局的 。说出来也许你不信,这一切的起源,是一场小小的火灾。这次,我们需要调转视角,从欧洲开始说起。
八十年代 是世界光刻机史的一个重要时代,以尼康为首的日本企业仅用了四年,就把当初光刻机领域的美国三巨头拉下了马,美国日本打得火热,欧洲也没闲着,八十年代初期,美国日本在半导体产业厮杀时,欧盟就已经意识到了 半导体产业的重要性 ,此时的欧盟还不叫欧盟,叫欧洲共同体组织。为了跟上时代步伐,不被美国日本甩在身后,欧洲共同体组织制定了一项计划——“尤里卡计划”。这个计划将帮助欧洲共同体 建立属于自己的半导体产业 ,而这个宏大的尤里卡计划中,有一个关于集成电路产业的子计划,名叫JESSI,这个子计划里有一个单独的内存项目,MEGA项目。这个项目很简单,就是 欧洲国家的部分科技企业联手,在十年之内追上日本的内存技术 。在当时的产业链中,内存技术的应用前景是最广泛的,同时也是半导体市场很大的一块蛋糕,整个内存技术分为两大块,SRAM和DRAM,这两个技术各有千秋,SRAM速度快但成本高,DRAM速度慢但成本低,你可以想象成机械硬盘和固态硬盘的区别,综合来说 两个技术方向不同 ,都有各自的目标市场和买家。最后,在欧洲共同体的商议下,两家欧洲企业接下了攻坚内存技术的任务,荷兰的飞利浦公司和德国的西门子公司。

飞利浦公司
考虑到内存技术的大投入和高风险,两家公司进行了分工,飞利浦主攻SRAM技术,西门子负责DRAM技术。两家公司计划在五年之内,各自出资十五亿马克投入研发,同时两家公司各自的政府,也会给自家公司资助五亿马克。经过多方协调,1984年,MEGA项目正式启动了,也正是在同年, ASML也成立了 。按理来说ASML的成立,和MEGA项目没什么关系,但实际上不仅有关系,而且还很大,我们还得回到MEGA项目之前说起。还是八十年代初期,飞利浦公司在实验室里,研发出了 自动化步进式光刻机 的原型,但这款光刻机的技术并 不成熟,有很多使用缺陷 ,再加上当时的光刻机市场并不大,就那么几家公司就满足了整个市场,所以飞利浦的光刻机项目没有得到任何一个公司的出资。按理来说,这种情况下,这个项目应该就此停止,打包出售,飞利浦也的确是这么做的,但没想到的是,一家名叫ASM的荷兰公司,在听说了这个的项目之后,主动找上了门,想要寻求合作。

荷兰公司 ASM
踏破铁鞋无觅处,得来全不费工夫,飞利浦在美国转了一圈都没人理,结果转头一个荷兰后生自己送上门来了。刚开始,飞利浦还觉得ASM公司体量太小了,根本玩不了光刻机这种烧钱机器,但在ASM老板的苦苦追求下,飞利浦还是同意了,毕竟有钱谁都想赚,双方商定,各出资210万美元成立ASML公司,股份为50:50,一人一半。结果,当ASML成立时, 飞利浦只掏了三十万美元 ,剩下的180万美元,是用那台不成熟的光刻机来抵的。面对这种赤裸裸的讹诈,ASM只能打落牙齿往肚子里咽。除了用不成熟的旧设备当投资之外,飞利浦还为了省钱, 没有给ASML公司提供办公室 。举家搬迁过来的ASM,只能在飞利浦大厦外面的简易木板房办公,寄人篱下。虽说是合资成立的ASML,但实际上 更像一场打着合资名号的圈钱 ,毕竟对飞利浦来说,ASML存不存在都一样,面对当时还处在亏损的ASML公司,飞利浦不撤资就已经是好的了,更不要说继续投资了。

ASML公司
让我们先记下笔记,1984年,飞利浦和ASM合资成立了ASML,表面上是合资,其实就是 飞利浦通过合同圈钱 ,此时的ASML穷得掉渣,也是1984年,飞利浦在欧洲共同体的安排下,接过了MEGA项目中,攻坚SRAM技术的任务。理清这个时间线,老K要给大家说重点了。1984年,飞利浦接下了SRAM技术之后,就开始马不停蹄地攻坚,而隔壁的西门子选择了走捷径,直接花钱买了日本的技术,然后在1987年就开始量产了,混得风生水起,而飞利浦选择的 SRAM技术并不乐观 ,这个技术的市场需求原本和西门子的DRAM一样大,但是当时的英特尔不是在和日本缠斗嘛,为了出奇制胜,英特尔直接把SRAM技术集成到了自己的CPU里,结果就是整个SRAM的市场份额迅速缩水,隔着一个大洋的飞利浦无辜躺枪,算得上神仙打架,凡人遭殃了。市场份额快速缩水的结果就是,飞利浦花了二十亿马克搞出来的SRAM技术,一年的产量就足够全世界用三年,别说二十亿,两亿的本都回不了。

飞利浦和ASM合资成立了ASML
亏了血本的飞利浦开始尝试自救,在这个关头, 飞利浦盯上了东亚地区 ,他们想在东亚地区找一个公司进行技术合资,就像当年圈ASM的钱那样,用亏本的技术当出资,骗来对方的真金白银就离场,左找右找都没找到能接受这个方案的,但就像ASM的故事一样,踏破铁鞋无觅处,有一家公司主动找上了飞利浦,台湾积体电路公司。1987年,飞利浦和台湾当局签订了协议,台湾省政府出资一亿美元和飞利浦共同成立一家公司,这家公司的名字叫台积电。是的,当今世界上的光刻机霸主ASML和当今世界上最大的晶圆代工厂台积电,都是飞利浦的搞出来的,还是 亏了血本之后为了回本而进行合资圈钱搞出来的 。而且飞利浦搞出这两家公司的源头,都是欧洲共同体组织为了建立半导体产业而发起的尤里卡计划,结果在飞利浦的神奇操作下,欧洲的半导体一点影子没有,倒是 给美国送了个ASML , 给台湾送了个台积电 ,飞利浦这要不是*底卧**都说不过去了。

飞利浦公司
你以为ASML和台积电的渊源就是这点了吗,并不,更玄乎的还在后面。1988年,台积电在台湾落地,飞利浦负责为台积电提供一整条生产线,当做飞利浦的出资。当这条生产线快要组装好时,一场意外发生了,火灾。这场火灾里生产线虽然没受什么损失,但生产线上的 17台光刻机都被火灾烟雾熏到,根本无法使用 ,台积电很难受,因为这是所有的光刻机了,他们也没经费重新买了。这个时候飞利浦拍了拍胸脯说,没事, 这17台光刻机都是投了保险的 ,老K查资料时越查越不对劲,一向圈钱跑路的飞利浦,这次主动掏钱买了保险。更不对劲的还在后面,1988年的ASML,还在飞利浦大楼外的木板房里,上一年里他们整年只卖出了一台光刻机,已经处在了破产的边缘。而台积电的火灾事件经过保险公司评估后,确定了可以赔偿,不过不是直接赔偿现金, 而是保险公司为台积电重新购买17台光刻机 。你没猜错,保险公司把这17台光刻机的订单 交给了ASML 。这17台光刻机,不仅为ASML续了命,还让台积电成功落地了。

台积电
你以为这就完了吗,并不。我们常说,个人的努力固然重要,但也要考虑到历史的进程。1988年,台积电发生了火灾,保险公司同时为这两家公司续了命,而这绝不是那一年最大的事,那一年真正的大事是半导体产业大滑坡。1988年,全球半导体市场大滑坡,之前在世界范围内强势崛起的日本NEC,东芝,日立以及尼康这些公司都开始收缩产业,韩国三星在政府的资助下,利用“反规律周期”收割市场,简单来说就是 抄了全世界半导体产业的底 ,此时全球的半导体市场里 市场价值下滑 ,但因为价值下滑,空出来的份额都被三星掠走了,所以市场份额并没有变动,市场曲线得不到释放,直接导致了几乎所有美国半导体公司都遇到了严重的财务问题,光刻机公司当然也是。原本就被尼康打得难以招架,再加上这波市场大滑坡,GCA和P&E这些美国光刻机公司的代表都破产的破产,转卖的转卖, 美国的光刻机时代正式宣告了结束 。

半导体产业大滑坡
那一年全世界的光刻机厂商都没有订单,只能艰难度日,而我们前面说的ASML,刚好因为火灾提供的订单,不仅躲过了这波大清洗,还一跃成为排得上名号的光刻机公司。所以,现在你能明白,老K为什么反复提这场火灾了吧,这场火灾出现得 简直精妙绝伦 ,一场无人损伤的小火灾,变革了上万亿的世界光刻机格局,进而影响了世界政治博弈的大局,堪称四两拨千斤的巅峰代表。

火灾
ASML的运势到这里都还没有结束,此时美国盯上了它。虽然1986年和1991年,美国政府 两次按着日本的头逼它签订了半导体协定 ,但是这种政治手腕,只能做到把日本的市场毁了,并不能让美国占据半导体市场,而美国本土的GCA和P&E早就被打得稀碎,烂泥扶不上墙,为了解决这个问题, 美国最终盯上了ASML 。1997年,美国组织了一个叫EUV LLC的联盟,联盟里的公司个个都是如雷贯耳,英特尔,美国能源部,摩托罗拉,AMD,IBM,甚至还有美国的三大国家实验室,劳伦斯利佛莫尔国家实验室,桑迪亚国家实验室,劳伦斯伯克利实验室,这些实验室是美国科技发展的幕后大佬,核*器武**,超级计算机,国家点火装置都是这些实验室搞出来的,而美国攒这个联盟的目的也很简单, 攻坚当时的光刻机技术,占领市场高地 ,这些加盟的企业和实验室高手如云,但只差一个环节,一家有足够技术并且政治背景足够干净的光刻机公司。于是,被飞利浦嫌弃一生,没有任何政治背景的 ASML被拉入了这个EUC LLC联盟 。ASML倒是很圆滑,立马抱上了美国的大腿,主动表示同意在美国建立一所工厂和一个研发中心,同时还保证,百分之五十五的零部件都从美国公司采购,并且美国政府有定期审查的权力。于是,来自荷兰的ASML就这么摇身一变,加入美国半导体联盟,成了半个美国公司。后来的故事就不用老K多说了,在美国的技术和人才支持下,ASML迅速突破了193nm的光刻精度,成功击败尼康。没有了技术优势,再加上因为美日半导体协定,失去的日本政府支持的尼康最终败走美国,为日本的半导体编年史画上了句号。与之一同开启的,就是我们今天美国主导的半导体格局。长路漫漫,在尼康败走美国那年,中国走出了八十年代的技术困顿,在上海组建了上海微电子装备(SMEE)有限公司,而这个公司的员工,就是中电科45所当年主攻光刻机的那支队伍。

ASML公司
光刻机大败局第三期就到这里,下一期将是这个专题的最后一期,在下一期里,我们将重新回顾中国半导体,看到那场保护中国光刻机最后一丝火种的“盗火行动”,同时聚焦那场ASML和尼康的世纪对决,说出来也许你不信,真正决定这场对决胜负的,是一个潮汕人。