尼康光刻机公司现状和发展 (尼康能做到多少纳米光刻机)

8月26日,日本尼康突然官宣研发3D光刻机,目的是打破荷兰ASML的垄断地位,这着实让市场震惊了一下。

尼康官方宣布正在研发顶级光刻机,尼康7nm光刻机

要知道ASML一直是光刻机市场的龙头老大占据了出货量的60%销售额的80%,并且垄断了高端光刻机。

那么为什么尼康如此高调,一定要打破ASML的垄断呢?原因只有一个:“光刻机太赚钱了”。

据悉,光刻机的毛利率普遍在50~60%之间,高端光刻机的利润则更高。这令长期处于垄断地位的ASML赚的盆满钵满,昔日的龙头尼康只能喝口汤,这滋味实在不好受。

为了美美的“吃块肉”,更为了一雪前耻,尼康决定押宝3D光刻机,利用弯道超车的方法打破ASML的垄断。

那么尼康的这个愿望能实现吗?我们一起来看看。

先来看一看2021年的光刻机市场

2021年,全球光刻机共出货478台,较2020年增长65台,涨幅为15%。总销售额达到了1076亿元,同比增长8.9%。

排在前三名的依然是:ASML、尼康、佳能。

ASML:

尼康官方宣布正在研发顶级光刻机,尼康7nm光刻机

2021年出货309台,同比增长6%,占据了64.6%的市场份额,销售额达到了854亿,占比79%。

其中,高端机型(EUV光刻机)出货42台,占据100%的市场份额。

中端市场(DUV光刻机)出货103台,占据93.6%的市场份额。

低端市场(KrF机型)出货131台,占据75%的市场份额。

i Line机型出货33台,占据21.7%的市场份额。

从相关数据可以看出,ASML牢牢掌控着中高端市场,EUV光刻机丝毫不给对手机会。在收入方面更是形成了“二八”格局,说垄断绝不过分。

尼康:

尼康官方宣布正在研发顶级光刻机,尼康7nm光刻机

2021年出货29台,同比减少4台(12%),占据了6%的市场份额,销售额达到了112亿,占比10%。

其中,高端机型(EUV光刻机)出货量为0。

中端市场(DUV光刻机)出货7台,占据6.4%的市场份额。

低端市场(KrF机型)出货5台,占据2.9%的市场份额。

i Line机型出货17台,占据11%的市场份额。

从数据上看,尼康惨不忍睹。

尼康唯一的亮点就是面板光刻机,2021年出货量达到了49台,其中10.5代线用光刻机出货17台。

佳能:

尼康官方宣布正在研发顶级光刻机,尼康7nm光刻机

2021年出货140台,同比增长15%,占据了29%的市场份额,销售额达到了110亿,占比10%。

其中,高端机型(EUV光刻机)、中端市场(ArFi、ArF机型)出货量均为0。

低端市场(KrF机型)出货38台,占据22%的市场份额。

i Line机型出货102台,占据67%的市场份额。

佳能一样惨不忍睹。

佳能的亮点也是面板光刻机,2021年出货量达到了67台,较2020年大幅增加35台。

总之,ASML太强大了,将市场排名的尼康、佳能(第二、第三)都远远的甩在了身后,至于上海微电子、苏大维格、、德国Raith、英国DMO等真的看都没法看。

难怪尼康要“搏一把”,因为再这样继续发展下去,整个市场都是ASML的了。

3D光刻机真的能代替EUV光刻机吗

简单来说,光刻就是照相,光罩板就相当于图像,硅片相当于底片,曝光就相当于按快门。

普通2D光刻方法:

尼康官方宣布正在研发顶级光刻机,尼康7nm光刻机

硅片涂满光刻胶后,经过甩胶机甩均匀,然后放入光刻台,再放入指定的掩膜板,校准之后,按下开关进行第一次曝光。

曝光后,取出硅片滴上显影液,溶解被曝光区域的光刻胶。同时避免光刻胶线条的倒塌,

为了防止过度显影,很多时候都要用纯净水冲洗显影液,起到定影的作用。定影之后,就可以进行刻蚀了。

没胶的地方直接刻蚀硅片,有胶的地方有胶先顶着。完毕后酒精一清洗,胶都没了,就剩下刻蚀留下的图形啦

这只是一个简单的步骤,真正的7nm、5nm芯片需要重复几百次、上千次。

这种重复动作总会产生误差,比如:对准误差、曝光不足、过度曝光等等,最终影响了良品率和漏电率。

3D光刻机方法:

尼康官方宣布正在研发顶级光刻机,尼康7nm光刻机

3D光刻采用全息光刻方法,利用光的干涉原理成像,可以更精确地控制光的行为,光罩制作成3D模型后,厚度增加,曝光后定影后的光刻胶形状就可以更垂直,从而实现更好的品质。

3D光刻机采用堆砌的方法来提高芯片性能,曝光面积可以扩大4倍

具体方法是在放置芯片的板状零部件上,以很高的密度形成以电气方式连接各个芯片的多层微细布线。

同时,采用新型的高性能材料,让光线更容易穿透微小的孔隙。

此外,3D光刻机通过在原基础上改进透镜和镜台等光学零部件,来提高曝光精度;通过提高分辨率来增加布线密度

理论上看起来3D光刻机优点很多,但真的能够超越EUV光刻机吗?似乎只有设备制造出来才能清楚。

但无论如何这是一个方向,万一成功呢?就像当年谁也想不到一滴水就改变了整个光刻精度。

上海微电子3D光刻机如何

尼康官方宣布正在研发顶级光刻机,尼康7nm光刻机

有网友说:上海微电子已经生产出了3D光刻机。为什么无法突破7nm工艺呢?这里有必要解释一下。

光刻机按照用途分为三种:前道光刻机、后道光刻机以及面板光刻机。

前道光刻机主要用于晶圆制造,我们常说的麒麟芯片、高通芯片、苹果A系列芯片就是采用前道光刻机制造的。

前道光刻机被荷兰ASML、日本尼康、佳能 三家公司垄断,市场份额占到99%。

前道光刻机又分为EUV(极紫外光)和DUV(深紫外光)光刻机。EUV光刻机是7nm以下晶圆制造的必须设备;DUV光刻机只能做到25nm。

上海微电子的3D光刻机已经世界领先,但属于后道光刻机。

后道光刻机主要用于封装,精度在0.6μm(微米)左右。明显和前道光刻机不是一个级别的。

面板光刻机,用于生产屏幕,最高制程只能达到55-32微米,因为屏幕的集成度要求不高,自然对于分辨率要求也不高。

据悉,尼康此次研发的3D光刻机就属于前道光刻机,直接和ASML的EUV光刻机展开竞争。

尼康进军3D光刻机颇具看点

尼康官方宣布正在研发顶级光刻机,尼康7nm光刻机

我们谈到光刻机,第一时间就想到了EUV光刻机,紧接着就是ASML。但是你不知道的是在上世纪80年代至本世纪初,尼康才是光刻机市场的老大。

当时尼康的市场占有率达到了50%,ASML只是小角色。

1999年是尼康的顶峰,当年共出售了6000台光刻机。包括分辨率≤110nm、≤150nm、180 nm、400nm四个型号。

随后在进军157nm时出现了阻力,尼康砸了几十亿美元,消耗了大量的人力、物力依然没有结果。此时,出现了一个人名叫“林本坚”。

林本坚当时就职于台积电,他一语就道破了其中的关键,他说:“不就是把光变细吗?通过水折射一下不就细了吗?为什么一定要在空气里传播?”

为了说服尼康、佳能等大厂,他写了多篇论文,表示采用水折射的方法可以得到132nm的光线,比157nm更具优势,而且成本更低、难度低、节约资金。如果后续继续打磨,低于100nm也是可以做到的。

但是,尼康花费了大量的财力、人力、物力,都没有攻克,现在只需一滴水就可以实现,这不是打脸吗?于是,尼康、佳能都拒绝了这个方案。

尼康官方宣布正在研发顶级光刻机,尼康7nm光刻机

到最后只有ASML听进去了,决定试一试。当时的ASML只是一个小角色,要想超越尼康,就必须采取新方式、新技术,而此次就是最好的机会。

随后,台积电和ASML展开了合作,结果ASML异军突起,新产品研发成功,一举击败了尼康,最后成为了光刻机的代言人。

可以说当年的台积电成就了今日的ASML,如今台积电每年从ASML买走一半的EUV光刻机,这就能解释通了吧!

昔日的龙头,如今的世界第二卷土重来,这不是最大的看点吗?

写到最后

尼康官方宣布正在研发顶级光刻机,尼康7nm光刻机

尼康的DUV光刻机光源波长为193nm,因此无法实现更高的分辨率,只能止步于14nm工艺,而ASML的EUV光刻机波长为13.5nm,可以制造3nm工艺的芯片。

尽管尼康和ASML差距很大,但尼康毕竟在光刻领域打拼了几十年,技术和底蕴还是有的。

倒是我国,自从台积电不再为华为代工后,华为的日子真的很难过,手机无芯可用,5G业务受到影响,却无可奈何。

而早期传闻的上海微电子将交付首台国产28纳米工艺浸没式光刻机,如今也未见进度?

先进光刻机制造难度极大,闭门造车的方法也不可取,那么此次尼康研发3D光刻机,我们要不要合作呢?

我是科技铭程,欢迎共同讨论!