BMn43-0.5 锰白铜
标准
(GB/T 5231-2001)
所谓非平衡磁场指的是磁靶中心和外环的磁场强度不平衡, 这样的优势是磁力线不闭合, 从而使得磁场区域扩大, 这样磁场对粒子移动距离的增加效果更加明显。 这样有效提高了 粒子的相互碰撞几率, 扩大了 等离子体作用区域, 从而显著提高离子束电流密度。 图 1-5 为常规和非平衡磁控溅射中磁场及其等离子体特征的对比。 常规的磁控溅射方法将磁力线完全限制在靶材周围, 而非平衡磁场中, 部分磁力线甚至可以延伸到基片, 这样部分二次电子就可以轰击到基板表面, 电流密度会获得大幅提升, 薄膜的生长速率也获得明显提高。 但是该种非平衡磁场, 无论是内 聚型非平衡磁场还是扩散型非平衡磁场, 磁场区域虽然获得了扩大, 但是磁力线并不闭合, 磁控溅射的另一重要突破是闭合场非平衡磁控溅射技术。

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化学成分
镍+钴 Ni+Co:42.0-44.0
铁 Fe:0.15
锰 Mn:0.10-1.0
硅 Si:0.10
镁 Mg:0.05
铅 Pb:0.002
硫 S:0.01
碳 C:0.10
磷 P:0.002
铜 Cu:余量
杂质:0.6

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闭合场非平衡磁控溅射的示意图如图 1-6 所示。 该技术的实现是用极性相反的多组磁铁组建磁控管, 从而可以使磁力线可以相互连通。 闭合的磁场有效阻止电子逃逸, 提高了 衬底表面的等离子体密度, 并且均匀分布的磁场也成功解决了 单块靶材制备均匀薄膜的困难。 应用闭合场非平衡磁控溅射技术, 可以在保证薄膜生长速率的同时, 尽力降低了 偏压, 这样制备的薄膜更加致密, 性能更为优异。

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特性及适用范围
为电工铜镍合金,通常称为考铜,具有较大的温差电动势,电阻率高,电阻温度系数低,耐热性和抗蚀性比康铜好,同时具有高的力学性能和变形能力。