近年来，在超精密加工、生物工程、半导体加工等领域，对平台设备的运动控制精度要求越来越高，超精密运动控制技术也受到了特别的重视。自从 1973 年世界上第一台光刻机诞生以来，光刻技术和光刻机的发展越来越快。
（光刻机智能控制系统）
光刻机是 IC 制造业的核心设备，工件平台掩模平台系统是工件平台系统中运动控制的核心部件，具有扫描、上下切片、定位、调平、聚焦等功能。运动控制的性能对光刻机的效率和精度有很大的影响。近年来，随着光刻技术的飞速发展，工件平台掩模平台系统的性能越来越高，对工件平台控制系统的设计提出了更高的要求。
IC 技术的快速发展使得基于嵌入式系统、固态硬盘和无风扇结构的平板电脑越来越受欢迎，这也为解决这些问题提供了思路。根据这一思路，本文设计了嵌入式工控机作为工业控制主机，辅以数据采集卡和运动控制卡对光刻机进行改进，制作了基于智能光刻机控制设备的嵌入式工控机。
（ euv 光刻机）
这一改进带来了以下显著的优点：
一、低功耗。测试发现的平均温度控制系统始终保持在缺乏冷却的情况下 , 这表明 , 设备不需要使用风冷或水冷却 ,, 不会引入严重的振动和额外的干扰。
二、小型化。所有的电路板都是堆叠的，所以整体的体积只有 3dm2 ，可以很容易的集成到各种类型的光刻机中。
三、丰富的扩展接口。适用于集成多种传感器对光刻系统的各项指标和参数进行监测。
四、系统高速稳定。由于硬件采用嵌入式芯片和固态硬盘，软件采用基于紧凑指令集的操作系统，使得控制系统具有很高的数据处理速度和响应速度。
五、改进人机界面，采用符号化触摸界面和人机对话操作方式，使操作更加人性化、可视化。
六、强大的网络连接，使远程控制和数据共享更加方便、自由。综上所述，本设计具有小型化、低功耗、高速稳定、富扩容等优点，符合现代控制设备的发展方向和趋势。
综上工控机 选择 ：
（东田嵌入式工控机 DTB-3042-Q87 ）
东田嵌入式工控机，工控机主板采用 Intel Q87 芯片组，支持英特尔酷睿 4 代 I3/I5/I7 处理器，采用插槽式 CPU, 支持用户根据自己的性能和成本需求，灵活选择工控机 CPU 。嵌入式工控电脑自带 8 个串口， 6 个 USB 接口，其中 2 个 USB2.0 接口 ,4 个 USB3.0 接口 , 可以同时连接多台外部设备进行数据传输，满足用户的使用需求。自带 2 个 Intel 千兆网口（ I219+I210 ），支持 1 个 DVI-D 接口， 1 个 VGA 接口， 1 个 HDMI 接口，支持 3 个相同画面输出或 3 个不同画面输出。
本设备最终设计实现了新一代黑科技 ipc 小型化、低功耗、无噪声、高速稳定的目标，现已推出基于智能器件的光刻机产品。在嵌入式 Windows CE 环境下，设计了光刻工艺参数智能控制、图像识别和智能检索的软件系统，实现独立的实时图像采集、显示、存储和智能控制。光刻工艺参数的智能搜索策略，以及基于 agent 的机器对话、远程调试和操作将是进一步研究的方向。
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