x射线光电子谱仪结构 (x射线能谱仪和x射线光电子能谱仪)

随着对高性能材料需求的不断增长,表面工程也显得越来越重要。材料的表面是材料与外部环境以及与其它材料相互作用的位置,因此需要了解材料层表面处或界面处的物理和化学相互作用,才能解决与现代材料相关的问题。

表面将影响材料的诸多方面,如 腐蚀速率 催化活性、粘合性、表面润湿性、接触势垒 失效机理

表面改性可改变或改进材料性能和特性,使用表面分析能够了解材料的表面化学和研究表面工程的效果。从不粘锅涂层到薄膜电子学和生物活性表面, XPS成为表面材料表征的标准工具之一

XPS介绍

XPS 主要用于化学、材料、能源、机械等领域,可测试粉末、块状、纤维、薄膜等样品。其分析内容包括表面元素组成及化学态元素定性半定量分析、表面元素深度分析、表面元素分布分析等。例如用于钢铁表面钝化工艺评估,聚合物心脏支架表面药物元素的深度剖析,有机光电发光二级管(OLEDS)深度表征等。

X射线光电子能谱仪怎么测试的,x射线光电子能谱仪的原理示意图

01XPS 原理

用单色化射线照射样品,使样品中原子或分子的电子受激发射,然后测量这些电子的能量分布,通过与已知元素的原子或离子的不同壳层的电子的能量相比较,就可以确定未知样品表层中原子或离子的组成和状态。

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02仪器条件

表面测试深度:

金属:0.5-2nm,无机:1-3nm;有机:3-10nm

元素测试范围: Li—U%

元素检出限制: ≥0.1at

03样品要求

1) 粉末 :需要干燥,研磨均匀细腻;制样方法两种,胶带法需要样品 20-30mg ,压片法需要样品 2g

块状 :标清楚正反面,长宽高一般小于 5*5*3mm

薄膜 :标清楚正反面,注意保护好样品表面,长宽高一般小于 5*5*3mm

2) 样品通常用自封袋送样,这样实际上并不好,容易出现污染,可以用 离心管 或者 锡箔纸

3) 超高样品 :需要切薄;

4) 液体 :最好涂敷在Si片上干燥后送样,注意有基底干扰,需要测试空白样;

5) 磁性样品 :有些机器无法测(磁透镜),一定注明是否有磁性;

6) 空气敏感样品 :手套箱制样;

7) 生物细胞类 :冷冻干燥后或在冷冻条件下测试;

8) 样品禁忌 :样品必须充分干燥,不接受低熔点或易分解的样品;磁性样品要消磁后测试;样品中不能含有卤素,易挥发性物质

案例分析

01 表面元素定性半定量测试

每种元素都有各自的特征谱线,具有指纹特性,从而用于定性分析;通过灵敏度因子法计算峰面积,可以获得定量信息,然而元素灵敏度因子受很多因素影响,因此XPS测试结果为半定量结果;结合XPS分析软件可以轻松完成上述分析。

案例 :太阳能电池板小颗粒异物元素分析。由于样品很少(仅肉眼可见),EDS测试不能区分其中微量元素是锆或磷。后续采用XPS测试后,确认样品在EDS的出峰是磷元素而不含锆元素。

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02 价态分析(无机及金属材料)

由于结合能反映元素的指纹信息,当原子周围的化学环境发生变化,元素内层电子结合能会随之变化。因此可根据结合能变化推测元素的化学结合状态,即元素及化学态的定性分析。

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03 有机*能官**团分析(有机材料)

对客户关注有机*能官**团及其对应的元素,进行可能存在的*能官**团进行客观分析。值得注意的是,样品的有机*能官**团信息需由客户提供。

案例: 样品为石墨烯负载钼粉末,通过XPS对其中可能存在的有机物*能官**团团信息进行分析。

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04 深度剖析(纳米级膜厚度测试)

通过Ar+枪对样品进行轰击,边轰击边测试,可以分析出元素成分在不同深度下的结果,并得到元素成分、价态随着深度变化的规律。

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05 UPS-XPS+UV(能带间隙分析)

紫外光电子能谱 (UPS) 的操作原理同 XPS 一样,唯一的区别是 UPS 使用几十 eV 的电离辐射来诱导光电效应,而 XPS 则使用高于 1 keV 的光子。在实验室中,使用气体放电灯来生成紫外光子。气体放电灯通常填充氦气,但也可使用其它气体填充,如氩气和氖气。氦气发射的光子能量为 21.2 eV (He I) 和 40.8 eV (He II)。

由于使用了更低能量的光子,UPS 不能获取大多数核心能级的光电发射,因此谱采集仅限于价带区域。使用 UPS 能进行两种类型的实验: 价带采集 电子逸出功测量

案例: 样品为半导体热压多晶发光材料,想通过XPS及相关性能测试样品的能带间隙大小,从而来表征半导体材料的性能:

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06 成像(元素XPS二维成像)

XPS 不但能用于识别表面的点或微小特征区,还能用于样品表面成像。这对了解表面的化学状态分布很有帮助,可用于发现污染的限值以及检测超薄膜涂层的厚度变化情况:

微谱 拥有专业的技术团队与完备的服务体系,能够根据不同的样品类型为客户定制个性化测试方案,并提供现场测试服务。如果您有相关的业务需求,欢迎来电咨询: 400-700-8005 微谱工业技术服务 微谱,大型研究型检测机构。为客户提供分析、检测、测试、鉴定、法规咨询等专业技术服务,与广大新材料领域以及先进制造领域的客户一起推动技术革新,提升产品质量。

参考资料

  1. X射线光电子能谱分析
  2. 单梦洁-X射线光电子能谱仪介绍