ESD校准的目的
静电放电(ESD)是模拟电子器件或设备在运输，拆卸，安装，维护或运行时被人或其它带静电物体通过接触或非接触(空气)方式释放静电的一项测试。ESD是非常重要的一项EMC测试，同时也是破坏力较大，容易不通过的一项EMC测试。轻则导致设备运行不正常，严重的可能让样品造成永久性损坏甚至无法工作。显然，从可靠性性的角度来讲，样品能承受的静电等级越高越好，但一味提高静电等级又违反了工业领域里适度，经济的原则。基于此，我们通常会规定一定的ESD等级，目前主要参照ISO-10605-2014或各整车厂自己的标准，后者的制定也通常是以前者为依据。只有标准还不够，要怎么才能真正做到恰如其分的遵照标准值呢？这就是本文所要探讨的如何校准静电枪。
ESD校准环境
我们可能都有一个感性认识冬天比夏天更容易产生静电，其实从原理上说这主要是受湿度的影响。曾有人研究过温度和湿度对静电电压的影响，如图1。
通过图1可以得到一个简单的结论：温度对静电有较小的影响，湿度对静电电压有较大的影响。正是考虑到温湿度对静电放电有影响，所以标准规定：校准和测试温度为：(25 ± 10) °C;相对湿度为20 %至 60 % (最优为：20 % 至
30%)。校准将温湿度严格控制在标准规定的范围内。
高压校准
高压校准的目的是确保每次实验都是释放的规定等级的静电电压。校准时，将高压计置于ESD暗室内的测试桌上并进行良好接地如图。使用前，先将高压计预热15分钟，然后将枪头与高压计接触，让电压上升，看高压计上的示数是否可以稳定在设置的数值处，如图2所示。
校准时，需要将四个放电网络(150pF/330Ω，330pF/330Ω，150pF/2kΩ 和 330pF/2kΩ)的每个电压等级（±2kv，±4kv，±6kv，±8kv， ±15kv）分别用高压计测试10次，记录在校准档案里并求出其均值，按照标准需要满足±5%的精度要求。
放电电流波形校准
ESD是一个时间极短，瞬时电流较大，具有一定随机性的放电现象，所以将其放电电流波形控制在满足标准要求的范围内显得极其重要。校准前，首先将静电发生器放置在屏蔽室内的地面上，同时将ESD枪固定在三角支架上，并将枪头良好的接触在ESD靶子的中心放电点上，如图3 (根据标准，不对空气放电进行校准) 。
固定好静电枪后，需要将静电枪的接地线用螺栓固定在枪靶中心向下垂直500mm处，并且接地线的中心向后拉成一个三角，用支架固定好，如图4所示。
屏蔽室外，ESD靶的另一侧，由静电枪在枪靶激发的放电电流需要通过一个连20dB衰减器的BNC射频同轴线输入到示波器里，如图5所示。
通过示波器，我们可以观察到图6所示的静电放电电流波形，即为校准波形。校准波形的判断依据主要包括上升时间和不同时间点的电流值。上升时间规定为0.7-1ns；不同时间点的电流值有表1给出，如果两项都满足要求，则静电枪合格；如果不满足要求且布置严格遵守了标准则需要换静电枪再次校准。和高压校准一样，放电电流波形校准也需要将四个放电网络(150pF/330Ω，330pF/330Ω，150pF/2kΩ 和330pF/2kΩ)的每个电压等级（±2kv，±4kv，±6kv，±8kv， ±15kv）分别用高压计测试10次，分别记录并求出其均值，若判断结果均为通过，则完成校准。
总结
ESD校准的准确与否将直接影响ESD的测试结果，所以在校准时一定要严格照标准对各设备进行布置，对设备参数进行设置，对获取的校准值与标准值进行对比，使整个校准真正做到真实，规范，可信，可靠。