设备名称:高温磷酸清洗机
设备型号: CSE -SZ2011-16
整机尺寸:约2800mm (L) x1200mm(w)x 1900mm (H)
节拍:根据实际工艺时间可调节
清洗量:
批量清洗时，采用提篮装片，单次清洗圆片的数量要求如下
2 "外延片，每次不少于1蓝,每篮不少于25片
4"外延片，每次不少于1蓝,每篮不少于20片
6"外延片，每次不少于1蓝,每篮不少于20片
框架材料:优质10mm瓷白PP板机壳，优质碳钢骨架，外包3mmPP板防腐
机台底部:废液排放管路，防漏液盘结构
机台支脚:有滑轮装置及固定装置，并且通过可调式地脚，可高低调整及锁定功能
DIW.上水管路及构件采用日本积水CL-PVC管材，排水管路材质为PP管排风:位于机台后上部
工作照明:.上方防酸型照明
台面板为优质10mmPP板(带有圆形漏液孔，清除台面残留液体)
附件:水、气枪左右各两套
控制方式: PROFACE/OMRON+三菱、OMRON品牌PLC组合控制;
安全保护装置:
●设有EMO(急停装置),
●强电弱电隔离
●设备三层防漏托盘倾斜漏液报警设备整体置于防漏托盘内
高温磷酸清洗机
高温磷酸清洗机