三坐标测量机

(1)，其包括三坐标测量机主体 (2) 和控制装置 (3)。三坐标测量机主体 (2) 包括具有测量触头的探测器 (4) 和用于驱动探测器 (4) 的驱动机构 (5)。探测器 (4)包括用于驱动测量触头的驱动部 (43)。控制装置(3) 包括第 1 测量部 (321) 和第 2 测量部 (322)。第 1 测量部 (321) 用于测量受驱动部 (43) 驱动的测量触头的移动量。第 1 测量部 (322) 用于测量探测器 (4) 的移动量。并且，第 2 测量部 (322) 的测量精度低于第 1 测量部 (321) 的测量精度。

其包括具有探针的探测器和用于支承并驱动上述探测器的驱动机构，上述探针的顶端具有能在一定范围内移动的测量触头，该三坐标测量机基于上述测量触头的移动量和上述探测器的移动量来测量待测物，

探测器包括通过向各轴方向驱动探针来驱动测量触头的测量触头驱动部，和用于检测探针在各轴方向上的移动量的探测器传感器， 驱动机构包括用于检测探测器在轴方向的移动量的刻度传感器，三坐标测量机包括向测量触头驱动部和驱动机构输出用于驱动探针和探测器的位置指令的驱动控制部件，三坐标测量机还包括基于探测器传感器的检测结果来测量受测量触头驱动部驱动的测量触头在上述各轴方向上的移动量的第 1 测量部，和基于刻度传感器的检测结果来测量探测器的移动量的第 2 测量部。

背景技术

以往，这样的三坐标测量机，该三坐标测量机包括探测器 (probe) 和用于支承并驱动该探测器的驱动机构，该探测器具有通过与待测物接触而在一定范围内移动的测量触头，该三坐标测量机基于测量触头的移动量和探测器的移动量测量待测物 。表面形状测量装置 ( 三坐标测量机 ) 包括驱动机构和具有测量触头的仿形探测器 (Profiling Probe)，在将测量触头按入待测物的状态下获得测量触头的移动量和探测器的移动量，通过将所获得的各移动量合成来测量待测物。

在这样的三坐标测量机中，由于通过利用驱动机构使测量触头移动来测量待测物，因此，需要使用具有比待测物大的测量空间的三坐标测量机进行测量。因此，例如，在测量汽车用的零件等较大的待测物时，需要使用较大的三坐标测量机进行测量。

在此，例如，在利用三坐标测量机测量以规定的间隔连续地形成有多个较小的孔那样的较大的待测物时，必须高精度地测量孔径，但有时可以不高精度地测量各孔之间的间距，即，有时既有必须高精度地测量的较小的区域又有可以不高精度地测量的较大的区域。

但是，在这样的情况下，采用三坐标测量机的问题在于，必须使用测量精度与必须高精度地测量的较小的区域相应的高价的三坐标测量机来进行测量。另外，较大的三坐标测量机由于其驱动机构也较大，因此，存在难以高速地测量较小的区域这样的问题。

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