本文数据来自CINNO Research的统计数据，选取2022年中国大陆设备商半导体装备业务营收排名前十的企业简介，值得一提的是，2021年的前十榜单也是这批企业。
Top 1 北方华创
2022年营收：120.8亿元
控股股东：北京七星华电科技集团有限责任公司(33.70%)
实际控制人：北京电子控股有限责任公司(控股比例：43.15%)
注册地址：北京市朝阳区酒仙桥东路1号
简介：中国大陆的龙头半导体设备商，主要以微电子技术为核心的电子专用设备及新型电子元器件的研发、生产、销售和服务业务。其中电子专用设备包括：微电子设备、绿色环保电池设备、真空电子制造设备三个系列；新型电子元器件包括：厚、薄膜混合集成电路，高精密阻容元件，石英晶体器件，模块电源四个系列。
Top 2 中微公司
2022年营收：47.4亿元
第一大股东：上海创业投资有限公司(15.64%)
创始人：尹志尧
注册地址：上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
简介：中微公司是一家高端半导体微观加工设备公司。公司基于在半导体制造设备产业多年积累的专业技术，涉足半导体集成电路制造、先进封装、LED 生产、MEMS 制造以及其他微观工艺的高端设备领域。公司的等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户从65 纳米到14 纳米、7 纳米和5 纳米的集成电路加工制造及先进封装。公司的MOCVD 设备在行业领先客户的生产线上大规模投入量产，公司已成为世界排名前列、国内占主导地位的氮化镓基LED 设备制造商。
Top 3 盛美上海
2022年营收：27.6亿元
控股股东：ACM RESEARCH, INC.(82.50%)
实际控制人：HUI WANG(控股比例(上市公司)：45.10%)
注册地址：中国（上海）自由贸易试验区蔡伦路1690号第4幢
简介：盛美上海以半导体清洗设备和先进封装湿法设备为核心，近年开始进军沉积设备。公司立足自主创新，通过多年的技术研发和工艺积累，成功研发出全球首创的SAPS/TEBO兆声波清洗技术和Tahoe单片槽式组合清洗技术，可应用于28nm及以下技术节点的晶圆清洗领域，可有效解决刻蚀后有机沾污和颗粒的清洗难题，并大幅减少浓硫酸等化学试剂的使用量，在帮助客户降低生产成本的同时，满足节能减排的要求。
Top 4 长川科技
2022年营收：25.8亿元
控股股东：赵轶(23.42%)
实际控制人：赵轶[联席股东：徐昕(夫妻关系)](控股比例(上市公司)：23.42%)
注册地址：浙江省杭州市滨江区聚才路410号
简介：长川科技主营半导体测试设备，包括测试机、分选机、探针台等。公司目前拥有57项专利权、29项软件著作权，是国内为数不多的可以自主研发、生产集成电路测试设备的企业。
Top 5 拓荆科技
2022年营收：16.9亿元
第一大股东：国家集成电路产业投资基金股份有限公司(19.86%)
创始人：吕光泉
注册地址：辽宁省沈阳市浑南区水家900号
简介：拓荆科技于2022年4月上市，聚焦于半导体薄膜沉积设备，主要产品包括等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备、原子层沉积（ALD）设备和次常压化学气相沉积（SACVD）设备三个产品系列，已广泛应用于国内晶圆厂14nm 及以上制程集成电路制造产线，并已展开10nm 及以下制程产品验证测试。公司的产品已适配国内最先进的28/14nm 逻辑芯片、19/17nm DRAM 芯片和64/128 层3D NAND FLASH 晶圆制造产线。
Top 6 华海清科
2022年营收：16.5亿元
控股股东：清控创业投资有限公司(28.19%)
实际控制人：天府清源控股有限公司(控股比例(上市公司)：28.19%)
注册地址：天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号
简介：华海清科于2022年6月上市，主要产品为化学机械抛光（CMP）设备。CMP是先进集成电路制造前道工序、先进封装等环节必需的关键制程工艺，公司所生产CMP设备可广泛应用于12英寸和8英寸的集成电路大生产线，产品总体技术性能已达到国内领先水平。公司推出了国内首台拥有核心自主知识产权的12英寸CMP设备并实现量产销售，是目前国内唯一一家为集成电路制造商提供12英寸CMP商业机型的高端半导体设备制造商。
Top 7 芯源微
2022年营收：13.6亿元
第一大股东：沈阳先进制造技术产业有限公司(10.61%)
董事长：宗润福
注册地址：辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号
简介：芯源微主营半导体晶圆制造中的湿制程设备，产品包括光刻工序涂胶显影设备（涂胶/显影机、喷胶机）和单片式湿法设备（清洗机、去胶机、湿法刻蚀机），可用于8/12英寸单晶圆处理（如集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节）及6英寸及以下单晶圆处理（如化合物、MEMS、LED芯片制造等环节）。
Top 8 新益昌
2022年营收：11.3亿元
控股股东：胡新荣【联席股东：宋昌宁（一致行动人）】(36.85%)
实际控制人：胡新荣【联席股东：宋昌宁（一致行动人）】(控股比例(上市公司)：37.22%)
注册地址：广东省深圳市宝安区福永街道和平路锐明工业园C8栋3楼
简介：新益昌主营业务为封装用固晶机、电容老化测试设备等，其在中国大陆LED固晶机领域有领先地位。
Top 9 华峰测控
2022年营收：10.7亿元
控股股东：天津芯华投资控股有限公司(27.63%)
实际控制人：孙镪[联席股东：蔡琳、徐捷爽、周鹏（一致行动人）](控股比例(上市公司)：3.11%)
注册地址：北京市海淀区丰豪东路9号院5号楼
简介：华峰测控主营业务为半导体自动化测试系统的研发、生产和销售，产品主要用于模拟、数模混合、分立器件和功率模块等集成电路的测试。
Top 10 至纯科技
2022年营收：7.9亿元
控股股东：蒋渊{联席股东：陆龙英（母女）、尚纯（上海）投资咨询中心（有限合伙）}(22.05%)
实际控制人：蒋渊(控股比例(上市公司)：22.05%)
注册地址：上海市闵行区紫海路170号
简介：至纯科技主营业务包括高纯工艺集成系统、半导体湿制程设备、光传感及光器件等。
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