客户介绍

案例客户为专业精密光学元器件设备制造商，主要产品为离子束抛光机、磁流变抛光机等，提供超精密光学工艺制造研发服务，是一家超精密光学元器件解决方案提供商。

离子束抛光： 适用于大面积、异型、特殊材料等加工对象的超高精度非接触式修形及抛光，精度可达亚纳米级，被誉为终极抛光。

客户需求&痛点

应用方向： 非接触式亚纳米离子束表面修形

应用领域： 半导体/精密光学

产品类别： 高精密光学器件

加工指标：

1. 加工尺寸能力5-1200mm ；

2. 采用非接触式加工，无边缘效应，不产生亚表面损伤；

3. 亚纳米加工精度，可实现面型RMS<3nm高精度抛光能力；

4. 加工光学元器件形状有：平面.球面.非球面.自由曲面.离轴非球面等；

5. 加工光学元器件材料有：石英玻璃、微晶、超低膨胀玻璃（ULE)、KDP晶体、蓝宝石、硅、碳化硅、红外材料等。

客户痛点：

离子束抛光机的最核心部件是 可聚焦的高能量离子源 ，而此种类型的离子源原理和结构都难度极高， 长期 依 赖只能从国外进口 ，客户需要忍受 超不合理的价格和超长货期 。博顿的DISE直流离子源为此而生，实现了该类离子源的国产化突破，同时完成了 超长工作时长、可移动等创新 。

博顿光电·解决方案

升级/加装离子源：DISE系列 聚焦型直流离子源

型号： IBD-DISE1000

产品介绍： 博顿光电自主研发的特种直流离子源，可配备1.5cm/3cm/5cm/6cm孔径的多层栅网，可发射汇聚型离子束，离子能量范围50-1500eV，离子束流范围30-300mA，使用具有专利技术的中空阴极结构和耗材， 发热小 ，连续使用时间可达 100小时以上 ， 支持可移动结构 ，可用于 离子束清洗、离子束辅助、离子束刻蚀和离子束修形及抛光 。

应用领域： DISE直流离子源可应用于激光、红外、光通讯、面板、MEMS、半导体、军工及航天等多行业领域。

典型应用： DISE直流离子源在 光刻机 和 激光陀螺 的核心关键部件的 超精密加工 中起到关键作用。

芯片制造的核心设备是光刻机，而 光学镜片正是光刻机核心部件之一，决定着光刻精度和误差 ，这种精度的镜片面型加工必须用 离子束抛光修形 ，然后才能进行镀膜。

陀螺仪是惯性导航系统的核心部件，主要有绕线陀螺、静电陀螺、激光陀螺、光纤陀螺、微机械陀螺等种类，其中 激光陀螺一直占据着高精度控制领域里的主导地位。激光陀螺中的光学镜片对面形要求极高，精度决定着导航精度及成败 ，也必须用离子束做修形和抛光。

光刻机

官方公开的国产某型惯性导航系统

为客户提升的市场价值

博顿光电致力于通过高端离子源核心技术及离子束装备的国产化，解决国内在高端离子源及离子束设备领域“用不上”和“用不起”的行业困局。

本案例重点： 经过博顿团队和客户的共同努力， 博顿光电为该客户的离子束抛光机整机系统的离子源核心部件大大降低了成本 ，这也是博顿光电从上游核心部件解决了国产核心零部件“卡脖子”的问题，为国内真空成套设备厂商、系统集成商、工艺开发商、终端产品加工制造商提供长期、持续、稳定的服务和产品，实现国产替代的直接结果。

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关于博顿光电

“博顿光电”是一家专业从事新型离子源及离子束装备关键技术研发、设计和制造的创新型高科技企业，2019年认定为国家高新技术企业，核心团队在光电技术与微纳加工高端装备制造领域具备国内顶尖的专业技术研发与设计能力，在国内离子束技术与装备产品领域处于第一梯队，已开拓和积累了上百家行业典型客户。公司主营业务与产品为：

博顿光电致力于通过高端离子源核心技术及离子束装备的国产化，在离子束微纳加工核心部件与整机装备细分领域取得突破、成为行业“单打”冠军，打破国外垄断，解决国内在高端离子源及离子束设备领域“用不上”和“用不起”的行业困局，从上游核心部件解决精密光电行业的“卡脖子”问题，有力支撑我国精密光学、光通信、OLED、半导体等战略性产业的创新和发展升级，带动相关产业和行业的能力与价值提升。