半导体工业空气过滤器粘在集成电路上的粉尘可能造成断路、短路，粉尘直接影响产品的成品率。当今半导体工业(芯片厂)对生产环境空气洁净程度高挑剔，对空气过滤器的要求也最苛刻。衡量芯片集成度的指标之一是"线宽"，即电路上导线的宽度。
在以微米计算线宽的年代，人们说制造环境对粉尘粒径的限制是小于线宽的1/10。随着线宽不断变小，1/10之说又变成了1/4、1/2。2002年普通微机中P4处理器的线宽缩小到了0.13mm，此时任何粉尘都可能损害电路，粒径与线宽的传统比较已经过时了。
芯片厂传统的通风形式是"大循环"，车间的整个天花板上布满高效过滤器，整个地面为回风栅板。现在芯片厂有些车间使用自带风机的过滤装置，即FFU。大循环和FFU两种形式都能达到足够的洁净度，只是在运行管理和能耗上有所差异。不论是普通高效过滤器还是FFU，出厂前都要经过逐台扫描测试。
空气中的海盐粒子是所有电子工业的大敌，但空气中海盐粉尘的颗粒比较大，普通过滤器就能将其过滤掉。随后过滤器的微量挥发元素成了芯片厂关注的事情。近几年国外出现了聚四氟乙烯纤维高效过滤材料，这种材料没有挥发物但它是带静电的"驻极体"，少了个隐患多了个麻烦。
过滤后的空气要进行电中和以消除空气中的离子。过滤器上可能的微量挥发元素主要来源于粘结剂和清洗剂，为芯片厂供货的过滤器厂商要在这上面下些功夫。当今的过滤技术可以将洁净室的粉尘浓度降到近乎为零，想要多干净都能达到。
当芯片上的线宽小到0.5mm时，人们发现空气中的化学污染物成了影响成品率的主要危害。于是在线宽小于0.5mm的芯片厂空调系统中普遍配置了化学过滤器。化学污染物的来源可能是：室外空气工艺本身人装修材料。多数情况下设计师和现场人员也说不清污染物的种类和浓度，因此为他们提供的化学过滤器至少应具有两个特点：广谱吸附性能足够多的活性炭材料，如果能确定污染物种类就可以对活性炭材料进行有针对性的化学处理，以增强对特定污染物的吸附能力。
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