光刻机可分为生产芯片光刻机;用于封装的光刻机;用于LED制造的光刻机。
不管哪种类型的光刻机,基本原理是一样的。
“光刻机”它并不“刻”晶圆,它"刻"的是”光刻胶",如果把它叫做为"光绘机”更容易理解它的原理。可以把光刻机的主要功能理解为“绘”,用光“绘制”。
制造芯片原理其实很简单,有三个主要原辅材料:晶圆、光刻胶、刻蚀。
看出来了吗?并没有光刻机什么事啊?但是要生产出高质量的芯片,几乎每一个工艺都离不开“光刻机”。
基础:
1.晶圆就是高纯度的硅(单晶体),是在沙子(二氧化硅)中提炼出来的。
2.光刻胶是一种有机化合物,有敏锐的感光性,超强的分辨能力,很好的表面张力等技术要求。
3.刻蚀,就是要把元素(磷或硼)加入到晶圆中,或者把不需要的杂质清理掉。
过程:
1. 把光刻胶涂抹在晶圆上(当然还需要烘干等其它工序)。
2. 把设计人员设计好的图纸,通过光刻机,用光做载体,把图形进行转换变成光信号,打在光刻胶上。最终把设计人员设计的图纸传递给了光刻胶,“印制”在光刻胶上。
3. 光刻胶有超强的感光能力,由于图形是变化的,形成光刻胶上有的地方有线条,有的地方没有线条,就造成一层光刻胶上有的地方保留着光刻胶,有的地方光刻胶消失了,或者说有的地方晶圆漏了出来,有的地方晶圆没有露出来。光刻机把设计图形刻在了光刻胶上。
4. 刻蚀机这时候出现了,用它把磷或硼渗透到露出来的晶圆中,漏出来的晶圆中的硅和磷或硼之间形成PN结,PN结是芯片的基础,具有特殊的导电性能。晶圆中如果有很多很多PN结,就是集成电路,晶圆中有一个PN结就是二极管。

这就清楚了:
1. 荷兰生产的光刻机能把亿万个图形印制在光刻胶上。
2. LED是一个发光二极管,二极管有一个PN结,苏大维格的光刻机就是生产发光二极管这一类芯片用的设备。能把几个图形印制在光刻胶上。
3.中微公司生产的光刻机是生产芯片的光刻机,很牛。我们非专业人员可以这样理解荷兰生产的光刻机与中微公司的光刻机的差别:荷兰生产的光刻机在光刻胶上绘制出来两个线条之间的距离为5纳米,中微公司的为20纳米,差4倍。这个概念:假设一个单位芯片用荷兰生产光刻机加工,芯片里面能有一亿个PN结,那么用中微公司的光刻机加工,芯片里面会有2千多的PN结。差距还是较大,加油。
感想:
1. 苏大维格生产的光刻机一样有广泛的市场空间。
2. 苏大维格迈出了第一步,第二步还会远吗?
3. 大族激光研制的也是这种光刻机。
4. 配合最尖端光刻机使用的光刻胶,我们还没有能力生产。加油上海新阳、强力新材、士兰微。
5. 刻蚀机我们的企业已经走在了世界前列,中微公司、北方华创很牛。
6. 高纯度晶圆我们已经形成了生产能力。隆基股份、中环股份很牛。

加油!苏大维格
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